- 產(chǎn)品品牌:
- AGC
- 產(chǎn)品型號(hào):
- SERICS 100/600
系統(tǒng)名稱(chēng)
硅烷中雜質(zhì)分析檢測(cè)系統(tǒng)。設(shè)計(jì)思路
我公司設(shè)計(jì)的“高純氣分析檢測(cè)系統(tǒng)”包括以下主要設(shè)計(jì)思路: l 專(zhuān)臺(tái)專(zhuān)用,在完全滿(mǎn)足檢測(cè)要求的前提下,優(yōu)化組合配套; l 儀器的選型配套,要符合實(shí)驗(yàn)室的使用要求,并且便于分析人員的操作; l 提供人性化的售后服務(wù)和支持,保證使用方能獨(dú)立操作。技術(shù)優(yōu)勢(shì)
我公司設(shè)計(jì)的“高純氣分析檢測(cè)系統(tǒng)”方案擁有以下技術(shù)優(yōu)勢(shì): l 色譜儀的部件----檢測(cè)器完全基于愛(ài)爾蘭AGC公司的自主研發(fā), 具有較高的靈敏度、較好的穩(wěn)定性; l 色譜儀的氣路系統(tǒng)----獨(dú)到的中心切割、反吹系統(tǒng)技術(shù),可以完成多種復(fù)雜成分的分析檢測(cè); l 色譜儀的軟件系統(tǒng)----專(zhuān)門(mén)為AGC色譜配套研發(fā)的Trend Vision,除完成測(cè)試、自動(dòng)分析/存儲(chǔ)數(shù)據(jù),自動(dòng)繪制譜圖、反控氣相色譜、調(diào)節(jié)保留時(shí)間及各種切割動(dòng)作外,多可同時(shí)控制4臺(tái)分析儀器; l 本方案中所配套的露點(diǎn)儀,為行業(yè)內(nèi)先進(jìn)的氣體分析儀器,可以完全滿(mǎn)足實(shí)驗(yàn)室高純氣體的檢測(cè)。方案詳解
方案總述
l 硅烷中H2、O2、N2、CH4、CO、CO2雜質(zhì)分析推薦儀器:AGC 100DID氣相色譜儀
數(shù)量:1臺(tái) l 特氣分析專(zhuān)用吹掃系統(tǒng)一套硅烷中H2/O2/N2/CH4/CO/CO2雜質(zhì)分析----AGC100DI
檢測(cè)器工作原理
放電離子化檢測(cè)器的結(jié)構(gòu)如圖1所示。該檢測(cè)器由電離室和放電室兩部分組成,兩室之間有狹路相通。當(dāng)在放電室內(nèi)的兩個(gè)高壓電極上加以適量高壓電后,兩電極之間就會(huì)產(chǎn)生放電,從而得到一束高能量的紫外光輻射(400-500nm)。高能紫外光被引入射向電離室內(nèi),在這過(guò)程中,高能光子直接照射樣品成份中被測(cè)雜質(zhì)分子,使其電離形成離子,或者高能光子首先將載氣氦原子激發(fā)至亞穩(wěn)態(tài)(He*),然后具有較高能量的He*再與樣品中雜質(zhì)分子發(fā)生非彈性碰撞并使其電離。此時(shí)在集電極上加以適當(dāng)電壓收集被電離的雜質(zhì)分子,并將其信號(hào)放大記錄即得到被測(cè)成份的譜峰。由于光子具有較高能量(24.8ev),因此可使包括氖在內(nèi)的一切物質(zhì)分子電離,所以,DID是一種高靈敏度、通用型檢測(cè)器。
|
圖1:DID檢測(cè)器 |
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 型號(hào)、廠(chǎng)家 | AGC100DID、愛(ài)爾蘭AGC儀器有限公司 |
| DID檢測(cè)器 | 靈敏度:CH4≤5ppb |
| 線(xiàn)性范圍:>106 | |
| 柱箱溫度范圍 | 室溫~250℃ |
| 升溫 | <±1% |
| 載氣 | 超純氦 >99.999% |
| 放電氣體 | 超純氦 >99.999% |
| 驅(qū)動(dòng)氣 | 清潔干燥空氣 |
| 電源要求 | 220V,50/60Hz |
| 樣品氣進(jìn)口連接方式 | 1/8″VCR |
| 安裝方式 | 支架式 |
供貨組成及系統(tǒng)流程圖
| AGC600DID色譜儀組成(如圖2所示): | 數(shù)量 | ||
| 1.色譜柱分離系統(tǒng) | 色譜柱類(lèi)型:填充柱 | 1套 | |
| 填充物類(lèi)型:5A分析篩、Hayesep,脫氧柱 | |||
| 2.控制閥系統(tǒng) | 進(jìn)樣閥:十通電磁閥 | 1組 | |
| 切割控制閥:八通,四通電磁閥 | 2組 | ||
| 3.分析檢測(cè)系統(tǒng) | DID檢測(cè)器 | 1套 | |
| 專(zhuān)用電源 | 1個(gè) | ||
| 4.數(shù)據(jù)分析系統(tǒng) |
AGC專(zhuān)用工作站Trend Vision:除完成測(cè)試、自動(dòng)分析/存儲(chǔ)數(shù)據(jù),自動(dòng)繪制譜圖、反控氣相色譜、調(diào)節(jié)保留時(shí)間及各種切割動(dòng)作外,多可同時(shí)控制4臺(tái)色譜儀,圖2所示。 |
1套 | |
| 電腦 | 1臺(tái) | ||
| 打印機(jī) | 1臺(tái) | ||
| 配套組成部分: | 數(shù)量 | ||
| 載氣純化器 | 可再生型,型號(hào)75-802,圖3所示。 | 1個(gè) | |
| 超高純調(diào)壓器 | AGC(P-125)專(zhuān)用的氣體超高純調(diào)壓器(雙極)圖4所示 | 2個(gè) | |
| 載氣切換裝置 | 專(zhuān)用切換閥組 | 1套 | |
| 標(biāo)準(zhǔn)氣 | 各組分均符合檢測(cè)要求 | 1瓶 | |
| 載氣 | 超純氦 >99.999% | 2瓶 | |
| 驅(qū)動(dòng)氣 | 清潔干燥空氣 | 1瓶 | |
儀器外形圖
AGC 100DID主機(jī)







