精密儀器氣浮隔振基座,能夠隔來自垂直和水平方向上2到100Hz頻率范圍的振動。而該頻率范圍是實驗室中精密儀器常見大振幅振動源的振動頻率范圍。垂直方向上的振動可通過空氣彈簧(采用德國空氣彈簧)隔離,水平方向的振動則通過空氣彈簧與單擺結構相結合的兩級隔振,所以水平方向隔振效果更加優異。
基座的臺面采用“濟南青”花崗石或人造花崗石,其物理性能穩定,臺面變形小,同時具有吸振性能。并配有德國BOSCH的水平高度閥,該閥門能調節氣動隔離系統中的壓力,從而自動控制基座的高度,高度控制在0.5mm以內。
該精密儀器氣浮隔振基座主要應用于精密儀器設備和相關實驗系統的隔振,相關儀器設備包括原子力顯微鏡、SPM、白光干涉儀和生物顯微鏡等納米的測量儀器和成像顯微系統。


