| 空氣分子污染監測系統 | | | | 萊特浩斯污染反應監測器是個能提供區域環境空氣分子污染實時數據的儀器。鍍有銅
或銀石英晶體微量平衡傳感
器用于檢測大量的導致金屬污染反應的腐蝕薄膜。對氣團的增大的描述是基于被腐 蝕的用于測量波長埃里數的光掩膜。這種高的腐蝕檢測手段將設備的監測提升到
了1ppb的級別。 | |
| | | | | | | | 操作規則 | 萊特浩斯污染反應監測器是個能提供區域環境空氣分子污染實時數據的儀器。鍍有銅或銀石英晶體微量平衡傳感
器用于檢測大量的導致金屬污染反應的腐蝕薄膜。對氣團的增大的描述是基于被腐蝕的用于測量波長埃里數的光掩
膜。這種高的腐蝕檢測手段將設備的監測提升到了1ppb的級別。 空氣分子污染 一套的系統被發展成微環境下空氣光掩膜表面的空氣質量的檢測。下表提供了空氣質量標準的參考，其中各項參
數需要嚴格要求才能保證芯片制造的質量，包括了對AMC的要求。 |
| 空氣質量標準 | | 銅腐蝕 | 銀腐蝕 | 等級 | 空氣質量級別 | 反應率 | 等級 | 空氣質量級別 | 反應率 | C1
C2
C3
C4
C5 | 純凈
清潔
中度污染
污染較嚴重
嚴重 | <90?/30 days
<150?/30 days
<250?/30 days
<350?/30 days
>350?/30 days | S1
S2
S3
S4
S5 | 純凈
清潔
中度污染
污染較嚴重
嚴重 | <40?/30 days
<100?/30 days
<200?/30 days
<300?/30 days
>300?/30 days |
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| 空氣質量級別詳細說明 | 純凈：污染對裝配過程不構成可測得的威脅。
清潔：污染可測到，但對裝配過程不構成即時威脅
中度污染：超過以上標準的污染會輕度影響裝配過程
污染較嚴重： 超過以上標準會對裝配過程造成污染。
嚴重： 污染對裝配過程構成即時威脅。 |
| 萊特浩斯污染反應監測器 | 萊特浩斯感應監測器的維護僅需替換傳感器 原因在于紅色發光燈閃跳。在 2級環境下，銅質地的傳感器將能延用26個月；
銀質地的傳感器將能延用40個月。安裝LWS實時監控顯示器時，需要放置在特殊的盒子里，在合適安全的 視線高度內固定好. 區域：選擇潔凈，干燥的無震動區域室溫保持在-10 和 75°C (14° and 167°F)之間并且相對濕度在無凝固狀態下的10% 和
95%之間 萊特浩斯感應監測器能通過T掌上手持式電腦或筆記本電腦直接讀取輸出，，或解決遇到的疑難問題。運用某一調制解
調器發送信號的軟件，諸如終端T或在線T， 設定9600波特率。將數字式232RS 數據線插入萊特浩斯感應監測器上的RS-232
端口可獲取累積或增， 數據線由萊特浩斯提供以連接到筆記本電腦或手持式掌上電腦上。 |
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| RS－232 以一埃的測量波長度輸出數據 | 記錄 | 銅 積累/增加 | 銀 積累/增加 | 0000,
0001, | 0002,
0002, | 0002,
0002, | 0004,
0004, | 0004,
0004, |
| 運作 | 相關參數 | 小輸出值: 4 mA
輸出值: 20 mA
反復性: ± 0.5-1% of full span | 尺寸(長×寬×高): 3.25 x 4.24 x 1.37 英寸
重量t: 0.3 磅 (150 公斤)
外殼:黑色塑膠材質 |
| | 電伏指數 | 電源共計: | 18 － 30伏, 非常規 | 輸出信號l: | 2個 4-20 毫安的直流電通道， 2根電源線 | 日常耗電量: | <50毫安 | 模擬輸出間隔: | 通過電流間隔為 60 秒 | 數字輸出間隔: | 15秒, RS-232 輸出端口 | 紅色閃燈: | 表示傳感器出現故障 | 綠色燈快閃: | * 2 小時 – 表示傳感器在初始化階段 | 綠色燈慢閃: | ** 24小時 – 表示加強數據收集 | 綠色燈不閃動: | 表示設備處于常規操作階段 | * 表示每2秒鐘一閃
**表示每4秒鐘一閃 |
Cumulative Corrosion Span
Incremental Corrosion Span
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