·             新的內部緊湊設計，縮小了設備的尺寸。

·             7"觸屏控制面板操作系統，更方便操作。

·             Telon ®/polyethylene “密閉碗”設計可適合各種材料勻膠工藝。

·             標準配置轉速10000rpm，并可根據用戶需要進行定制。

·             采用工業級別伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。

·             機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，永不生銹，便于清洗。

·             排風和抽氣系統位計于載片臺之底部 （以利于排風效率和勻膠均一性）。

·             透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業時完全隔絕光阻的溢出有效隔絕有毒氣味的散發。

主要性能指標

·             主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）

·             旋涂程序：多可存100組程序，每組100步，每個步驟可到0.1秒

·             轉動速度：0-10,000rpm(可選更高速)

·             旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）

·             馬達旋涂轉速穩定性能誤差 < ±1%

·             轉速調節<1rpm，重復性< 1rpm

·             工藝時間設定： 0-3,000 sec/step，時間設置：0.1sec

·             支持wafer尺寸1cm-200mm

·             旋涂作業均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內（需要去除邊緣3毫米區域測量）

·             設備尺寸  32cm W × 45cm D × 30cm H