- 產品品牌:
- 尼康Nikon
- 產品型號:
- L200
NIKON L200金相顯微鏡 ECLIPSE L200D 透反射兩用型 使用世界水平的尼康CFI60光學系統,對光路中的耀斑有很好的抑制,可以實現很高的圖象對比度。 可以觀察的硅片直徑為200mm,觀察倍率15X~3000X(視目鏡和物鏡的組合而定); 物鏡齊焦距離為60mm,可以兼顧高數值孔徑和長工作距離兩方面的要求; 主機剛性高,具有很好的抗振性能,具有防塵、防污染、防靜電功能; 光亮調節、光闌調節、物鏡轉換等操作都集中在前面,使用方便,即使長期操作也不易產生疲勞; 可以與尼康的硅片輸送機配合使用,提高硅片檢測效率。 <微分干涉套> 全體物鏡共用物鏡轉換器內的諾曼斯基棱鏡,結構簡單,成象質量高。 L200 L200D 觀察性能的提升 擴大檢查范圍的反射熒光觀察(L200ND)新 反射照明觀察,除可進行明場、暗場、微分干涉觀察之外,更可進行UV(365nm)激發的反射熒光觀察。 對于半導體感光薄膜的殘渣、有機EL顯示面板的觀察發揮了很大的威力。 使用物鏡:CFI LU PLAN FLUOR 10X 硅片的明場觀察 暗場觀察 微分干涉觀察 反射熒光觀察 反射熒光觀察用的電動水銀光纖光源[INTENSILIGHT](L200ND) 光源采用了預定心電動水銀光纖光源[INTENSILIGHT]。更換燈泡時不用進行燈絲調心和對焦。 燈箱可與主機分離設置,以降低光源發熱對顯微鏡的影響。6段式的調光機能和快門機能,實現了良好的操作性。 約2000小時超長使用壽命的燈泡大幅降低了使用成本。 操作性能提升、理環保 比12V100W更亮的高亮度12V50W鹵素燈 新 采用了12V50W的[LV-LH50PC預定心燈箱],與12V100W相比,耗電量削減了約一半,又可達到與其同等甚至更亮的亮度。 燈絲位置經過優化設計,且燈箱里有反光鏡,使照明視場均勻,并提高照明效率。特別是用到50倍以的高倍物鏡時,能得到比12V100W亮約20%的觀察圖象。 更環保,也能防止因熱量而造成的焦面偏移的干擾。 抗污染的防靜電涂層 新 主機、載物臺、鏡筒均涂有消靜電涂層。為了提高抗污染能力,防止工件因靜電感應而受損,從而提高成品率。 可調節到位置進行觀察的正立調傾式三目鏡筒 視場數25的超大視場,可任意設定0~30°的觀察角度。根據使用者體型和觀察姿勢的不同,可將三目鏡筒調節到位置松隨意的進行觀察。 載物臺微調手輪無需移動工件 不用移動工件,載物臺微調手柄位置固定于顯微鏡主機操作部旁。 所有的操作部都盡在手邊,移動載物臺、對焦等顯微操作,不用抬手,只需動動手腕就可輕松執行。 耐久性比以前高3倍的電動通用物鏡轉換器 新 多可以安裝到6個物鏡。和偏心較小的物鏡結合使用,用高倍物鏡觀察時切換倍率也很少會出現圖象閃動現象。 從低倍到高倍的自由切換更穩定。考慮到使用者,在旋轉物鏡轉換器時會自動切斷照明光路,避免光直接照射使用者眼晴。 對焦目標 對焦目標可移入光路,這一特性對于裸硅片之類的低對比度工件的正確對焦成為方便。 ? 顯微鏡操作部位集中于底座前部 操作手輪、按鍵等,都集中于底座前部,更便于使用。一看就能快捷高效的進行顯微操作。大大減輕了長時間觀察的疲勞感。 獲取圖象,提升與顯微鏡用數碼相機的聯動力 實現了從觀察到圖象拍攝、分析的整體化 ·尼康開發提供了便于使用的顯微鏡、數碼相機和軟件一體化的高機能設備系統。 ·支持從設定觀察條件,到數碼拍攝→處理→分析的整個流程。 用于LSI檢查顯微鏡 ECLIPSE L200N Wafer Loader NWL200系列 與ECLIPSE L200N相結合,對應新的硅片檢查需要。 運用獨立的尼康高端技術,穩定傳輸超薄型100um硅片。







