| 型號 | Excel1651UM/UC | Excel1652UM/UC | Excel200U | Excel250U |
| 量測行程 | 1250x1650x160mm | 1250x1650x250mm | 2000x1250x200mm | 2500x1600x200mm |
| 外形尺寸 | 1886x2600x1650mm | 1886x2600x1850mm | 1886x3084x1737mm | 2252x3794x1737mm |
| 重量 | 3,600kg | 3,650kg | 3,740kg | 6,800kg |
| 承載重量 | 100kg | |||
| 平臺材質 | 鋼構 | |||
| 平臺設計 | 龍門式 | |||
| 基座材質 | 花崗巖 | |||
| XY | 4.0+L/300μm | 4.05+L/300μm | [5.5+L(mm)/300]μm | [5.5+L(mm)/300]μm |
| Z | 2.8+L/150μm | 3.0+L/150μm | 3.0+L/150μm | 3.0+L/150μm |
| 加速度 | 1000mm/s2(XY), 500mm/s2(Z) | |||
| 速度 | 500mm/s(XY), 500mm/s(Z) | |||
| 光學尺解析度 | 0.1μm | |||
| 影像 | 高解析度彩色或黑白系統 | |||
| 表面光, 輪廓光,同軸光光源 |
紅光LED (黑白系統白光) LED(彩色系統) | |||
| 光學系統/放大倍率 | 12:1光學 Zoom/15x-180x or 30x-360x放大倍率 | |||
| 軟體 | InSpec Metrology Software | |||
| 電控系統 | 伺服系統: CNC, 滑鼠, 搖桿 | |||
| 工作環境 | 20℃±2°,30-80% 濕度 | |||
| 電源系統 | 93-264VAC, 47-63Hz, 10Amp | |||
