- 產品品牌:
- UVATA
- 產品型號:
- UPA100
UV 解膠機
軟件控制UV照射機UPA型,以PLC精密控制單片晶圓的UV膠膜照射過程,並隨時顯示實際執行的各項參數。
直徑達220㎜的照射窗口,可處理8”(200㎜)的標準規格晶圓。光源可更換更大面積的照射器。
特點:
※ 桌上型設計-安裝簡單。
※ 多功能控制面板-操作方便、穩定度高、維修容易,並可完成遠端控制的需求,依需求修改控制模式,更改操作螢幕之字型等。
※ 全程監視系統-UV 燈管狀態
1.采用UV冷光源,代替了傳統的高壓汞燈,經過試驗,使用壽命比普通汞燈壽命長數十倍以上,安全性高,熱量小,功耗低
2.一鍵式全自動根據設定完成所有操作,在達到照射時間后會自動關閉,不需要啟動和等待時間。
3.采用觸摸屏作為人機界面,集成操作和錯誤,報警顯示
4.使用于3inch~12inch的wafer,Frame可以定制







