規格參數：
| 儀器型號 | YVM-3020LTCNC | YVM-4030LTCNC | YVM-5040LTCNC | ||
| 量測行程 | 300*200*220mm（X.Y.Z） | 400*300*220mm（X.Y.Z） | 500*400*220mm（X.Y.Z） | ||
| X.Y.Z小顯示值 | 0.001mm | ||||
| 測量 | X.Y Axis：（3+L/75）μm | ||||
| 重復性 | 5μm | ||||
| 影像放大倍率 | 24~156X（可擴展至12~312X） | ||||
| 測量方式 | 影像式+探針 | ||||
| CCD | SONY芯片43萬象素高清晰彩色CCD | ||||
| 鏡頭 | 國產0.7~4.5Xzoom 卡位光學變倍鏡頭 | ||||
| 工作距離 | 115mm（影像） | ||||
| 電腦 | 品牌電腦 | ||||
| 測量軟體 | YR-CNC （可實現Z軸測量和平面度測量） | ||||
| 升降立柱 | 花崗石立柱 | ||||
| 儀器基座 | 000級高穩定性花崗石底座 | ||||
| 照明 | 上、下光源均采用可調亮度LED無影燈 | ||||
| 工作限重 | 30KG | ||||
| 外觀尺寸 | 700*650*950mm | 980*750*950mm | 1050*800*950mm | ||
| 儀器重量 | 330KG | 450KG | 560KG | ||
