1、 配有雙數(shù)字表： 一塊數(shù)字表在測(cè)量顯示硅片電阻率的同時(shí)，另一塊數(shù)字表（以萬(wàn)分之幾的）適時(shí)監(jiān)測(cè)全過(guò)程中的電流變化，使操作更簡(jiǎn)便，測(cè)量更。

數(shù)字電壓表量程：0—199.99mV

靈敏度：10μV

輸入阻抗：1000ΜΩ

基本誤差±(0.04-0.05%讀數(shù)+0.01%滿度)

2、 
可測(cè)電阻率范圍：10^—4 —1.9×10⁴Ω·cm

可測(cè)方塊電阻范圍：10—3 —1.9×105Ω/□。 3、  設(shè)有電壓表自動(dòng)復(fù)零功能，當(dāng)四探針頭1、4 探針間未有測(cè)量電流流過(guò)時(shí)，電壓表指零，只有1、4 探針接觸到硅片，測(cè)量電流渡過(guò)單晶時(shí)，電壓表才指示2、3 探針間的電壓（即電阻率）值，避免空間雜散電波對(duì)測(cè)量的干擾。 4、  流經(jīng)硅料的測(cè)量電流由高度穩(wěn)定（萬(wàn)分之五）的特制恒流源提供，不受氣候條件的影響，整機(jī)測(cè)量＜3%。電流量程分五檔：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。 5、  儀器采用觸點(diǎn)電阻更低（＜5mΩ）、使用壽命更長(zhǎng)的轉(zhuǎn)換開頭及繼電器（＞10 萬(wàn)次），在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數(shù)，提高了測(cè)試儀的可靠性和使用壽命。 6、  加配軟件配電腦使用，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)換向測(cè)量、求平均值，計(jì)算并打印電阻率值、小值、百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容。 7、  四探針頭采用國(guó)際上先進(jìn)的紅寶石軸套導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，使探針的游移率減小，測(cè)量重復(fù)性提高（國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局已于2005.02.02 授予權(quán)，號(hào)：ZL.1）。