- 企業(yè)類型:制造商
- 新舊程度:全新
- 原產(chǎn)地:法國
應用:
◆ 薄膜厚度、n值及k值的測量,可應用于任何薄膜生長或者鍍膜工藝的監(jiān)控。
技術(shù)參數(shù):
Sopra公司是世界上的橢偏儀設備供應商,其高的橢偏儀在半導體、化合物半導體(GaAs/SiC)、LCD及MEMS領(lǐng)域有著非常廣泛的應用。目前,全世界有超過500臺的Sopra橢偏儀應用于各個行業(yè)。
主要特點:
◆ 高的薄膜測量(膜厚、n值、k值);
◆ 全世界家寬光譜橢偏儀技術(shù)的發(fā)明者;
◆ VLSI及其他的測試標準均由Sopra標第;
◆ 強擴展性:Fast UV VIS CCD 模式,高分辨率DUV-VIS模式及FTIR/4PP功能。









