- 企業類型：制造商
- 新舊程度：全新
- 原產地：日本
詳細信息
UX-4系列全自動投影式光刻設備主要運用于大尺寸的LED芯片生產和研發。同時又可以運用于半導體MEMS芯片的新品開發和大批量生產。特點：
*限度的提高生產良率。（焦點深度可達±50um）
*光刻板和Wafer非接觸，光罩板可以反復利用無需對光罩板進行清洗和更換。
*可對應到8英寸芯片的生產，1:1性曝光。
*設備利用率可達97%以上
*真正意義上的全自動，光罩板無需人工裝載。
*產品生產切換簡易。
*焦點深度可達±50um（可有效對芯片應翹曲嚴重和厚膠工藝）
應用：
*LED及半導體MEMS芯片的研發和生產
