陶瓷Z軸、全花崗巖結構,為計量室環境下的測量提供了穩定的高
中心驅動系統減少偏擺和扭轉,Y向光柵安裝于工作臺的,阿貝誤差小
Y向采用燕尾導軌結構,了機器的和重復性柔性同步帶系統,兼顧柔性嚙合與剛性軸向傳動的優點,高加速度時定位,從而運動的平穩性
Z向采用可調式氣動平衡設計,了機器的動態性能,Z軸性
標配溫度傳感器,自動補償由于溫度變化而引起的誤差
采用HEIDENHAIN高分辨率金質光柵,其熱膨脹系數獲得PTB。
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