的一體化設計,具有優異的光學成像質量,方便使用的正像光學系統,是理想的檢測半導體器件的工具,支持3種激光波長,可在半導體和液晶基板中使用激光切割和薄膜技術。可以廣泛應用于半導體、電子、冶金等行業的制造和研究領域。
描述
●人機工程頭部
PSM-1000E雙目觀察頭可以在3°-30°轉動,調整觀察眼點的高度和觀察方向,使操作者的使用更加舒適。
●管鏡
PSM-1000的管鏡轉盤上裝有1X NUV、1X NIR和2X 管鏡,三組管鏡之間可以根據需要進行切換,切換簡單、方便。其中1X NUV對355nm和532nm波長進行了優化,1X NIR對532nm和1064nm波長進行了優化,當使用這3個波長的激光器時,可以得到更好的激光透過率。
●光路切換拉桿
通過推拉光路轉換拉桿可以方便的對光路進行切換。當轉換拉桿往外拉時,雙目頭和攝像接口的分光比為0:100,此時從攝像接口上入射的激光100%的進入光路,了激光效率;當轉換器拉桿往里推時,雙目頭和攝像接口的分光比為50:50,此時即可用雙目頭觀察,同時也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器。
●偏光觀察
主體上留有偏光插孔,插上偏光附件(選配件),可進行偏光觀察。
●調焦機構
PSM-1000的調焦機構轉動舒適,工作。調焦機構可承載45磅(20.4Kg),安裝激光器和CCD攝像頭后,仍然能夠正常工作。
●轉換器
PSM-1000采用4孔可調中轉換器,使用隨機配送的調中鑰匙,可以很方便地調整物鏡的齊中。
●物鏡
PSM-1000采用長工作距離的無應力平場復消色差物鏡,提供了優異的成像質量。關于物鏡的具體參數請參照APO物鏡樣本。
●數碼攝像系統
根據所使用的CCD攝像機的CCD尺寸,選擇合適的攝像接頭,安裝在攝像接口上,組成數碼攝像系統,就可以在電腦、電視或器上同步觀察。
●照明系統
采用同軸垂直照明系統,光源采用外置冷光源。長達2m的照明光纖和光源遙控器(選配件)給PSM-1000帶來更自由的操作空間。
●探測工作站
PSM-1000的主體部分可以安裝在探測工作站上,進行硅片的測試。
●激光裝置
PSM-1000的攝像接口處裝有激光定位銷,雙目頭前留有安裝激光濾的位置,并提供補償墊片。無需的激光工具箱,就可以方便的把激光器和激光濾安裝上。
注:在安裝和使用激光器之前,請您仔細閱讀激光器和激光濾的使用手冊。由于在PSM-1000上使用激光器和激光濾而產生的和性能問題,麥克奧迪實業集團有限公司對此概不負責。
規格說明
PSM-1000主要技術參數
鉸鏈式三目頭 圖像 正像
瞳距 調節范圍 55-75mm
視場直徑 24mm
分光比 可通過光路切換拉桿自由切換(雙目頭:第三目=100:0或50:50)
主體 管鏡 1X(可對紫外及進行優化),2X
激光的使用 拉出光路切換拉桿即可
可應用的激光 1064/532/355 nm NWR laser
調焦機構 粗微調手輪 調焦行程:50mm;粗動手輪4mm/轉;微動手輪0.1mm/轉
調焦機構承重量 20.5kg
攝像接頭 C-Mount接頭
照明系統 同軸垂直照明,可變孔徑光欄
冷光源(選配) 150W冷光源照明器及工業顯微鏡光纖(2m)
物鏡轉換器 四孔物鏡轉換器,中心可調,可拆卸
物鏡(選配) 長工作距離平復消色差物鏡 2X,5X,10X,20X,50X
長工作距離復消色差物鏡 50X,100X
可調焦長工作距離復消色差物鏡 2X,5X,10X,20X,50X
可調焦工作距離復消色差物鏡 50X,100X
NIR長工作距離復消色差物鏡 20X,50X
重量 主體:6.8kg;冷光源照明器:2.5kg







