技術參數
●分析元素 e（選配），5B～92U
●X射線分光器高靈敏度型
●樣品尺寸 100mm□×5mmt
●X射線取出角 52.5°
●二次電子分辨率 6nm（EPMA-1600），5nm（EPMA-1610）
●分析元素 e（選配），5B～92U
●X射線分光器高靈敏度型
●樣品尺寸 100mm□×5mmt
●X射線取出角 52.5°
●二次電子分辨率 6nm（EPMA-1600），5nm（EPMA-1610）
