特點(diǎn)及應(yīng)用領(lǐng)域
　　氣體質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)）（M gas flow controller（meter））縮寫為MFC(MFM)）是對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制的設(shè)備。
　　S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))特點(diǎn)：
　　*采用主體不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON？、聚四氟乙烯等
　　*適用于各種腐蝕性氣體
　　*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準(zhǔn)
　　*高  
　　*重復(fù)性好
　　*響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、穩(wěn)定
　　*低壓降
　　*工作壓力范圍寬（可以在高壓或真空條件下工作）。
　　*操作使用方便，可任意位置安裝
　　*便于與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。
　　S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))主要應(yīng)用領(lǐng)域：
　　*半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制
　　*分析儀器設(shè)備的氣體計(jì)量與控制
　　*各種形式的真空鍍膜設(shè)備
　　*環(huán)境檢測(cè)與分析設(shè)備
　　*化工、石化、食品行業(yè)氣體流量監(jiān)測(cè)和控制
　　*特種材料表面處理裝置與燃燒控制
　　*混氣配氣系統(tǒng)和泄漏探測(cè)系統(tǒng)等

S49 32/MT質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))技術(shù)指標(biāo)
編號(hào)  項(xiàng)目  S49 32/MT
1  流量規(guī)格  （5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min
（1,2,3,5,10）L/min
2  調(diào)節(jié)閥類型  電磁調(diào)節(jié)閥
3  調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)  常閉
4  準(zhǔn)確度  ±1.5%F.S
5  線性  ±1.5%F.S
6  重復(fù)  ±0.2%F.S
7  響應(yīng)時(shí)間  ≤8秒（T95）
8  工作壓差范圍  （50～300）kPa;   （100～300）kPa(10L/min)
9  耐壓  3MPa;           10MPa
10  工作環(huán)境溫度  （5～45）℃
11  材料  不銹鋼316L
12  標(biāo)準(zhǔn)密封材料  Viton？，    EPDM，  或其他由用戶指定
13  漏率  1×10-8Pa.m3/s
14  接頭  Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用戶指定
15  輸入輸出信號(hào)  （0～＋5.00）V (輸入阻≥100KΩ,負(fù)載輸出電流能力≤3mA)
16  供電電源  ±15V（±5%）（＋15V  50mA,  －15V  200mA）
17  外形尺寸mm  130（寬）×102（高）×28（厚）
18  重量kg  0．8