| 型號 | SURFCOM 480B | |
| 測量范圍 | X軸(橫向) | 100mm |
| Y軸(縱向) | 800mm(測量范圍/分辯率:800mm/10nm、80mm/1nm、8mm/0.1nm) | |
| 直線度 | (0.05+1.5L/1000) mm =測量長度(mm) | |
| 分析項目 | 使用規格 | JIS-2001,JIS-1994,JIS-1982,ISO-1997,ISO-1984.DIN-1990,ASME-1995,CMO規格 |
| 參數 | Ra,Rq,Ry,Rp,Rv,Rc,Rz,Rmax.Rt,Rz.J.R3z.Sm.S.R△q.Rla.Rlq.TLL T A. lr.Pc.Rsk.Rku.Rk.Rpk.Rvk.Mr1.Mr2.Vo.K.tp.Rmr.tp2.Rmr2.RdcH.Hmax.Hmin.AREA.NCRX.R.Rx.AR.NR..SR.SAR | |
| 評價曲線 | 剖面曲線、粗糙度曲線、濾波波紋度曲線、濾波中心線波紋度曲線、滾動圓波紋度曲線、滾動圓中心線波紋度曲線、DIN4776曲線、粗糙度中心曲線(Motif)、波紋度中心曲線(Motif)、包絡波紋度曲線 | |
| 表面特性圖表 | 負荷曲線、功率譜曲線圖、振幅分布曲線 | |
| 傾斜補償方式 | 直線補償、R面補償、前半補償、后半補償、兩端補償、花鍵補償、(直線、R面、兩端補償可以在任意范圍內) | |
| 倍率 | 縱倍率(Z軸) | 50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、100K、200K*、500K*倍、自動 |
| 橫倍(X軸) | 1、2、5、10、20、50、100、200、500、1K、2K、自動 | |
| 濾波器的種類 | 標準型濾波器2RC、相位補償型濾波器2RC、相位補償型濾波器(高斯濾波器) | |
| 測量速度 | 0.03、0.06、0.1.5、0.30 、0.60、 1.5 、3、 6mm/s(4速) | |
| 傳感器 | 前端半徑2mm、材質為金剛石、測量力為0.75mN | |
| 的功能 | 測量AI | 裝載有測量AI功能、即使初學者也可容易掌握 |
| 段差分析功能 | 適于測量半導體部件的膜厚及面積 | |
| PC卡 | 輸出文本文件、將數送至電腦 | |
| 標準配件 | 標準片E-MC-S2、記錄紙(E-CH-S21A)、觸摸筆(E-MA-S54A)操作說明書 | |
| 各要素 | 電源 | AC100~240V±10%、50/60Hz、90VA |
| 設置尺寸 | 1000(W)*800(D)*750(H)mm | |
| 質量 | 105Kg | |












