羅茨泵是一種無內壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的限真空除取決于泵本身結構和制造外，還取決于前級泵的限真空。為了泵的限真空度，可將羅茨泵串聯使用。 羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的不斷旋轉，被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內，再經排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態，所以，在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹。 但當轉子頂部轉過排氣口邊緣，v0空間與排氣側相通時，由于排氣側氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然增高。當轉子繼續轉動時，氣體排出泵外。羅茨泵在泵腔內，有二個“8”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋動。在轉子之間，轉子與泵殼內壁之間，保持有的間隙，可以實現高轉速運行。
羅茨泵工作原理性能特點羅茨泵實質上與凸輪泵相同，但轉子是羅茨型的。它能輸送黏度為數萬厘泊的液體。
羅茨泵主要是有兩個旋轉方向相反的轉子位于泵體中，由一對同步齒輪傳動。轉子與凸輪泵一樣，既有雙葉的，也有三葉和多葉的。形狀種類很多。
對于羅茨泵的轉子，在泵體內是互相嚙合的，但具有間隙。間隙大小主要取決于液體黏度。過黏度范圍須調整間隙。
雙葉羅茨泵和三葉羅茨泵的工作原理。其原理與齒輪泵相似，當轉子旋轉時在與泵體形成的空間內液體沿泵體殼壁從吸入室排送到排出室。當軸每轉一周，雙葉羅茨泵吸、排各兩次，而三葉羅茨泵吸、排各三次。
