氣浮平臺
高直線電機，音圈電機氣浮平臺，多軸氣浮精密平臺，在工作中要求亞的運動，。直線電機氣浮精密運動平臺，對氣浮導軌設計、直線電機控制等關鍵技術進行了研究。采用有限元設計法設計了氣浮導軌，采用該方法設計的氣浮導軌具有較高的承載能力和剛度。提出一種改進的PID控制策略，從而直線電機運動平臺的干擾能力，并使其獲得較高的穩態位置。實驗結果顯示，在采用這種控制方法后，直線電機氣浮精密平臺的定位可達亞微米，甚至是納米級的要求。
雙邊直線電機驅動的H 型氣浮精密定位平臺，對該精密定位系統的氣浮導軌設計方法和雙邊直線電機同步運動控制等關鍵技術進行了研究。利用有限元法設計了氣浮導軌，分析了氣膜壓力場的分布情況，采用預加載技術氣浮導軌的承載能力和剛度等性能。靜態特性，開發的定位平臺氣浮導軌具有較高的承載能力和剛度，設計了基于同步速度偏差的改進型并聯結構同步控制器，采用模糊控制實現PID 參數的自適應在線整定。運動，改進的控制器具有較高的同步控制，速度同步比一般同步控制了3倍多，適合于具有強機械耦合的多電機同步運動控制。H 型直線電機氣浮定位平臺具有承載能力強、高的優點，可以用于光刻機和光學檢測等精密工程領域。
高直線電機，音圈電機氣浮平臺，多軸氣浮精密平臺，在工作中要求亞的運動，。直線電機氣浮精密運動平臺，對氣浮導軌設計、直線電機控制等關鍵技術進行了研究。采用有限元設計法設計了氣浮導軌，采用該方法設計的氣浮導軌具有較高的承載能力和剛度。提出一種改進的PID控制策略，從而直線電機運動平臺的干擾能力，并使其獲得較高的穩態位置。實驗結果顯示，在采用這種控制方法后，直線電機氣浮精密平臺的定位可達亞微米，甚至是納米級的要求。
雙邊直線電機驅動的H 型氣浮精密定位平臺，對該精密定位系統的氣浮導軌設計方法和雙邊直線電機同步運動控制等關鍵技術進行了研究。利用有限元法設計了氣浮導軌，分析了氣膜壓力場的分布情況，采用預加載技術氣浮導軌的承載能力和剛度等性能。靜態特性，開發的定位平臺氣浮導軌具有較高的承載能力和剛度，設計了基于同步速度偏差的改進型并聯結構同步控制器，采用模糊控制實現PID 參數的自適應在線整定。運動，改進的控制器具有較高的同步控制，速度同步比一般同步控制了3倍多，適合于具有強機械耦合的多電機同步運動控制。H 型直線電機氣浮定位平臺具有承載能力強、高的優點，可以用于光刻機和光學檢測等精密工程領域。
