的產品上,增加打缐的結合力與表面改質。
低頻率的電源協助產生較高密度的離子震盪來更的清潔,使得制程效率更加的。
本系統包含一個大容量的腔體,可以放置六個彈匣的電結構以提供客戶大量穩定生產使用。
◆操作模式:彈匣批次式置入
◆出且沒有靜電破壞。
利用中頻產生高密度電漿,并讓清洗更率更均勻。
◆制程應用:
-利用物理和化學的作用,針對金屬的結合面作與清洗增加打缐結合強度
-增加表面能,讓填充與點膠的流動性在膠與基板間的結合性
-利用不同氣體種類可以表面改質
◆腔體尺寸:
-寬430 X 深435 X 高610 mm.
◆中空陰電
-6彈匣/每批次
◆高的電源輸出:
-半自動匹配調整輸入能量
-小巧簡潔式的電源供應器
-輸出能量為1000W
◆系統:
-保護電路與螢幕監控
-低頻輸出端
-腔門戶所開關
-真空測漏監控
-電磁輻射干擾保護




