•熱式原理
•一體化設計
•滿量程從 5SCCM 到 1000SLPM
•響應時間不過 2秒鐘
•操作壓力可達 20MPa
•對安裝位置不敏感
•316SS 材質(zhì),允許測量腐蝕性氣體
•無直管段安裝要求
•單電源供電
技術(shù)參數(shù)
流量范圍:從 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2,具體請參考表一
響應時間:1~2秒
?。?plun;1%滿量程(除 204A 型);
&plun;1.5%滿量程(204A 型)
重復性:&plun;0.2%滿量程
量程比:50:1(2%-100%滿量程)
環(huán)境和操作溫度:-10~70℃
操作壓力:3000PSIG(20MPa),具體請參考表一
點漂移:&plun;0.05%滿量程/℃
范圍漂移:&plun;0.05%讀數(shù)/℃
壓力漂移:0.1%/ATM(相對于 N 2)
安裝方向:對位置不敏感
預熱時間:10分鐘
電氣連接:卡式(20針)或 D 型(9針)
設定點輸入流量信號輸出:0-5VDC/0-5VDC(小負載電阻 2kΩ);
0-10VDC/0-10VDC(小負載電阻 3kΩ);
1-5VDC/1-5VDC(小負載電阻 2kΩ);
4-20mA/4-20mA(請參考下面的說明);
1-5VDC/4-20mA(請參考下面的說明)
對于流量信號輸出為 4-20mA 的負載電阻:
環(huán)路電壓為 6.5-15VDC 時:0-450Ω
環(huán)路電壓為 15-30VDC 時:200-750Ω
供應電源:
電壓輸出:+12(&plun;5%)(適用于 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信號輸出)或+15(&plun;10%)VDC
電流輸出:+15(&plun;5%)或+24(&plun;15%)VDC
電流消耗:<250mAdc
重量:請參考表一







