μsurf系列產品采用多孔共聚焦技術，結合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉盤取代偵測器的孔洞，再將物鏡垂直移動，以類似斷層攝影方式，可在短時間內(約幾秒)量測物體的三維數據。其測量方式是非接觸式，不會破壞樣品的表面，不需要在真空環境下測量，也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本，其在嚴酷的工作環境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在測量漸變較大的高度時，跟其他方法相比，可以更量測物體高度，建立3D立體影像，優勢相當明顯。

NanoFocus μsurf solar太陽能電池3D顯微鏡，可以對太陽能電池片進行自動化測量，廣泛適用于單晶、多晶和薄膜太陽能電池片，一分鐘內可以自動測量12個區域，是質量檢驗和生產控制中的的光學三維表面測量和分析工具。可以進行太陽能電池片柵線的3D形貌表征、高寬比測量，制絨后3D形貌表征（單晶金字塔大小、數量、角度、比表面積，多晶腐蝕坑形貌、密度），粗糙度分析，以及減反射層腐蝕表面的測量，薄膜小孔的檢測和自動分析。

作為太陽能行業要設備，μsurf solar太陽能電池3D顯微鏡從硬件到軟件均是針對太陽能行業定制開發出來的，其測量樣品的平臺帶有真空吸盤，可以承受210mmX210mm的樣品，能太陽能電池片移動時不破壞。適用μsurf solar有利于控制生產工藝,效率,是質量的。

n 技術參數

LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h

測量時間：2~10秒

測量原理：非接觸、共聚焦

X/Y方向：平臺移動范圍200mmX200mm，馬達驅動，移動速度40 mm/s，X/Y方向分辨率：0.3μm

Z方向測量范圍：500μm，Z方向分辨率：1nm

物鏡：10X、20X、50X、100X(可選)

離軸攝像頭(10X)，視野8 x 6 mm2(選配)

計算機：計算機控制系統，大且附帶解決方案的自動化軟件

工作電源：100-240V, 50-60Hz，input: 550 VA

材質：鋼鐵、橡膠、大理石

潔凈室等級: Capability cl 6 (according to DIN EN ISO 14644)