應(yīng)用
LEXT OLS4100可用來(lái)測(cè)量表面物理形貌,進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析,如3D 表面形貌、
2D 的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等。
? 精密部件:檢測(cè)對(duì)表面磨損,表面粗糙度,表面微結(jié)構(gòu)有要求的部件;
? 生命科學(xué)
? 電子元件:光掩膜,微透鏡,柔性電路板接觸點(diǎn),MEMS等
? 半導(dǎo)體:晶圓凸起,導(dǎo)光板,芯片焊點(diǎn),導(dǎo)光板激光點(diǎn)等
? 原材料/金屬加工:電鍍金剛石工具,碳精棒,細(xì)管,膠帶等
? 紙張:紙張、錢幣表面三維形貌測(cè)量
? LED行業(yè)
■技術(shù)參數(shù)
光源:405nm半導(dǎo)體激光 白色LED
檢出系統(tǒng):光電管
變焦:光學(xué)變焦:1~8X,數(shù)碼變焦:1~8X
分辨率:移動(dòng)分辨率10nm,顯示分辨率1nm
物鏡轉(zhuǎn)換器:6孔電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器
物鏡:100x,50x,20x,10x,5x等
XY載物臺(tái):100×100 mm(電動(dòng)載物臺(tái)),可選: 300×300 mm(電動(dòng)載物臺(tái))






