儀器為臺式結構,分為電氣箱、測試架兩大部分,用戶可以根據測試需要安放在一般工作臺或者工作臺上,測試架由探頭及壓力傳動機構、樣品架組成,和使用壽命長的特點。探頭內設有彈簧壓力裝置,壓力連續可調,測試架設有手動和電動兩種裝置供用戶選購。
儀器電氣箱主要由高靈敏的直流數字電壓表和高穩定的恒流源組成,測量結果由數字直接顯示,儀器有自校量程,可以方便地對儀器的電氣性能進行校驗。
儀器具有測量高、靈敏度高、穩定性好、測量范圍廣、結構緊湊、使用方便等特點,儀器適用于半導體材料廠、器件廠、科學研究部門、高等院校,對半導體材料的電阻性能測試及工藝檢測。
主要技術指標:
1測量范圍:10-4---106Ω -CM 分辨率 10-6。
2數字電壓表量程和電流輸出檔位:
a、電壓表量程2 mV、20 mV、200 mV、2V
b、電流輸出檔位: 1uA,10uA,100uA,1mA,10mA,100mA,
3測試(顯示電壓)及穩定度:
a、使用電壓量程20mV—2V及使用10uA—100mA電流輸出檔時 :
&plun;(0.2%讀數+6字)
b、使用電壓量程2mV檔及使用1uA電流輸出檔時:
&plun;(0.5%讀數+8字)
c、顯示:4½位數字顯示0—19999及相應單位顯示,測試電壓的分辨力為
0.1uV。
4 電源:220&plun;10% 50HZ或60HZ 功率消耗<50W
5外形尺寸:365mm*345mm*110mm







