ASM142氦質譜檢漏儀是法國公司新推出的用來檢測電子元器件的多功能氦質譜檢漏儀
器。
可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。
該檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質量數小、重量輕并且有滲透能力強的優點，達
到了細檢漏的目的。
合美國真空標準S2.1以及國際標準ISO3530的標準。內置式標準漏孔，帶自動溫度補償
系統。開機5分鐘后完成準備工作，可以開檢。數顯工作界面；數字顯示漏率，帶音頻報警。
工作參數可以通過菜單設定和修改。可以設置報廢點。質譜室自動保護：大氣突然沖入。
技術規格：
靈敏度：5.0×10-12 mbar.l/s
漏率顯示范圍：2×10-12~1×10-1 mbar.l/s（He）
檢漏的時間（空盒時）：小于30秒
發射電流顯示：0.2—2mA
檢漏口對氦氣的抽速：1.3升/秒
啟動時間：小于5分鐘
接口尺寸：DN 25 KF
外觀尺寸：510×343×428mm
重量：56Kg
電源：
220V 50Hz 單相
器。
可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。
該檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質量數小、重量輕并且有滲透能力強的優點，達
到了細檢漏的目的。
合美國真空標準S2.1以及國際標準ISO3530的標準。內置式標準漏孔，帶自動溫度補償
系統。開機5分鐘后完成準備工作，可以開檢。數顯工作界面；數字顯示漏率，帶音頻報警。
工作參數可以通過菜單設定和修改。可以設置報廢點。質譜室自動保護：大氣突然沖入。
技術規格：
靈敏度：5.0×10-12 mbar.l/s
漏率顯示范圍：2×10-12~1×10-1 mbar.l/s（He）
檢漏的時間（空盒時）：小于30秒
發射電流顯示：0.2—2mA
檢漏口對氦氣的抽速：1.3升/秒
啟動時間：小于5分鐘
接口尺寸：DN 25 KF
外觀尺寸：510×343×428mm
重量：56Kg
電源：
220V 50Hz 單相
