SP0100系列藍(lán)寶石壓力傳感器
測量介質(zhì):與鈦合金和不銹鋼兼容的液體、氣體或蒸汽
標(biāo)準(zhǔn)量程:0?0.004MPa--0?160MPa
過載壓力:10MPa以下量程 2倍上限壓力
10MPa以上量程 1.5倍上限壓力
破壞壓力:10MPa以下量程不小于4倍上限壓力
10MPa以上量程不小于2倍上限壓力
:&plun;0.1%;&plun;0.2%(含非線性、遲滯、重復(fù)性)
點輸出:&plun;0.1mV/V(對0.1級);&plun;0.2mV/V(對0.2級);
量程輸出:5&plun;0.2 mV/V
工作溫度:-65℃?+150℃
附加溫度誤差:不大于&plun;1%(對0.1級);不大于&plun;2%(對0.2級)(-40?+80℃范圍內(nèi))
電源電壓:10VDC(標(biāo)稱);15VDC()
輸入和輸出電阻:R in≥2kΩ;R out≤5kΩ
緣電阻:>100MΩ@500V
護(hù)等級:IP65
重量:不大于0.15kg
過程連接:M20×1.5;M12×1.5
■優(yōu)質(zhì)的基礎(chǔ)部件--藍(lán)寶石傳感器技術(shù)簡介
硅藍(lán)寶石壓力傳感器硅-藍(lán)寶石材料
*熱性好、彈、緣強(qiáng)度高
*異質(zhì)外延性壓敏電阻沒有 p-n結(jié)和均質(zhì)合金
*可以牢固的釬焊在金屬和陶瓷材料上輻射
硅藍(lán)寶石壓力傳感器的沿革
*上個世紀(jì)70年代以前,蘇聯(lián)先在世界上嘗試使用硅藍(lán)寶石測量壓力。
*世界上出現(xiàn)了個以硅藍(lán)寶石為材質(zhì)制成的壓力傳感器-“晶體”。
*90年代:整體,減少外型尺寸,改進(jìn)制造工藝,拓寬使用范圍向美國、捷克、中國等國出口。
*2000年,硅-藍(lán)寶石共有30種類型的傳感器,16種類型的變送(過12000種參數(shù))。
硅-藍(lán)寶石壓力變送器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)
*雙層單膜片結(jié)構(gòu)(Ti+硅藍(lán)寶石)單敏感元件,高壓破壞試驗,化學(xué)腐蝕材質(zhì)(Ti)
*雙層雙膜片結(jié)構(gòu)(Ti+硅藍(lán)寶石)測低壓力,開放式膜片
*單層單膜片結(jié)構(gòu)(硅藍(lán)寶石)溫度誤差小。
硅?藍(lán)寶石高溫壓力傳感器在發(fā)展過程中的
*的物理和化學(xué)結(jié)構(gòu)帶來的性能,不存在PN結(jié)和結(jié)效應(yīng),其理論工作溫度可以520℃
*芯片引出線改金焊為鋁焊,避免金溶點低造成引線失效,適應(yīng)硅?藍(lán)寶石傳感器高溫特性
*在真空焊接工藝上采用了新的材料和工藝參數(shù),硅?藍(lán)寶石芯片與受力膜片粘結(jié)的一體性和穩(wěn)定性
*發(fā)展了新型的膜片式和熔體式壓力傳感器
本公司在利用硅?藍(lán)寶石高溫壓力傳感器基礎(chǔ)上的
*利用藍(lán)寶石傳感器的特性,創(chuàng)立了信號提取及剝離的原理及工藝,該原理的基本方法是根據(jù)取樣電阻(橋臂電阻)對溫度變化量值,對溫度引起的漂移進(jìn)行跟隨補(bǔ)償
*采用附件電源法作為輔助方程準(zhǔn)確求得橋臂四個電阻真值,地進(jìn)行溫度補(bǔ)償,消除硅?藍(lán)寶石壓力傳感器由于工藝原因,電橋失配,產(chǎn)生的位溫漂
*研制成虛擬界面法,將力參數(shù)及電參數(shù)融為一體進(jìn)行電路,解決了非電量與電量共同的難題,準(zhǔn)確性96%
國際上有關(guān)技術(shù)的進(jìn)展
*微壓處理方面進(jìn)展較大,目前量程小于4kPa的已有生產(chǎn)
*膜片式傳感器和高溫熔體式傳感器是新產(chǎn)品
*熔體式傳感器的優(yōu)點是不用水銀做壓力傳導(dǎo)介質(zhì),適合了國際要求
本公司在使用該技術(shù)上的進(jìn)展
*開發(fā)成功我國目前在生產(chǎn)中能同時測溫測壓的油井長期測量系統(tǒng),還可進(jìn)一步發(fā)展成能生產(chǎn)測井(勘探用)的測量系統(tǒng)
*開發(fā)成功我國的硅?藍(lán)寶石溶體式測溫測壓系統(tǒng),性能和結(jié)構(gòu)均目前我國工業(yè)界所普遍采用的美國Dynisco公司和意大利Geflon公司的同類產(chǎn)品
*運用虛擬界面理論進(jìn)行補(bǔ)償,解決了硅?藍(lán)寶石傳感器鋁焊接片和藍(lán)寶石芯片的接觸電動勢帶來的溫漂難題







