產品執行標準

DIN50987，ISO3497，AST568

測試原理

EDXRF能量色散X熒光光譜法

測量樣品

固體、液體、粉末

功能

單鍍層和多鍍層測厚與元素分析

多可分析6層（不包括基層）

鍍液成份分析

高壓發生器

輸入電壓

24VDC&plun;10%

輸出電壓

0-50kV

輸出電流

0-2.0mA

輸出

0.01%

X射線管

X射線管靶材

W靶、Rh、Mo、Ag、Cr靶材可選

X射線管窗口

Be窗

電氣參數

50W, 4-50kV,0-1000uA

冷卻方式

油冷卻      

X射線照射方向

從上往下↓

照射范圍

Φ0.1mm

使用壽命

h

探測器

探測器類型

硅-PIN半導體探測器

元素分析范圍

Al¹³-U⁹²

能量分辨率

FWHM<145eV

探測窗口

鈹窗，窗口面積：25mm²

冷卻方式

熱電制冷

鍍層測厚與元素分析指標

元素分析范圍

Al¹³-U⁹²

測厚范圍

0.005—35 um

層精密度/準確度

相對標準差5%以下（厚度大于0.5um時）

第二層精密度/準確度

相對標準差10%以下（厚度大于0.5um時）

測量時間

10-60s

譜處理系統

處理器類型

全數字化32-bit DSP

譜通道數

256，512，1024，2048可供選擇

計數率

大于100000cps

能量范圍

500eV-40960eV

時間

<3%

光路系統和樣品觀測

準直器系統

單一固定準直器Φ0.1mm

對焦系統

鐳射激光對焦

樣品觀察系統

300萬像素高清CCD攝像頭，20倍光學變焦

樣品室

樣品室內部空間

（寬×高×深）：455×60×430mm

樣品臺尺寸

（寬×深）：250×275mm

樣品臺承載重量

≤5kg

試驗樣品尺寸

寬×高×深：440×50×410mm

樣品臺控制方式

三維程控電動樣品臺

工作臺移動技術數據

X=200&plun;5、Y=200&plun;5、Z=80&plun;5mm

工作臺移動

0.005mm

計算機和軟件

控制計算機

聯想品牌機，2G內存，500G硬盤驅動

顯示器

聯想19寸LCD顯示器

操作系統

WindowsXP

結果

Word、Excel格式

軟件

鍍層測厚軟件、元素分析軟件

軟件類型

FP基本參數法軟件

軟件語言

簡體中文、繁體中文、英文、其它

譜顯示

自動峰定性，KLM標記，譜重迭比較

譜處理

總強度，凈強度，背景強度；積，凈面積，多元素擬合，高斯擬合

資料分析

基本參數，基本譜圖，無標樣測試，峰位修正，底材修正。

重量和尺寸

設備主體尺寸

寬×高×深：W 503×H635×D790mm

主體重量

約80kg

使用環境

工作環境

溫度15-25℃，濕度40-70%RH

電源系統

單相220V&plun;10%，6A.工作電壓在允許范圍內

其它

1.不要靠近產生強磁場，電場，高頻等裝置；2.減少振動3. 粉塵少，濕度低，無腐蝕性氣體；4. 日光不能直射；5. 作為地震的對策，要考慮裝置的固定。