項目 / 型式 | SURFCOM C5 Te-C | SURFCOM C5 Te-S | |
量測范圍 | Z軸（縱方向） | 1000μm | |
X軸（橫方向） | 200mm | ||
移動范圍 | Z軸（上下） | 500mm (分辨率：0.1μm) | |
X軸（驅動部） | 200mm (分辨率：0.1μm) | ||
Y軸（前后） | 800mm (分辨率：0.1μm) | ||
Y軸（測頭驅動部） | 30mm (分辨率：0.1μm) | ||
旋轉角度 (測頭) | 0°、90°、180°、270° | － | |
驅動部真直度 | X軸：0.5μm/200mm、Y軸：0.5μm/30mm | ||
參數 | Ra,Rq,Ry,Rp,Rv,Rc,Rz,Rmax,Rt,Rz.J,R3z,Sm,S,RΔa,RΔq,Rλa,Rλq, TILT A,Ir,Pc,Rsk,Rku,Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,VO,K,tp,Rmr,tp2,Rmr2, Rδc,H,Hmax,Hmin,AREA,NCRX,R,Rx,AR,NR,,SR,SAR | ||
顯示縱倍率 | 50～500K倍 | ||
顯示橫倍率 | 0.1～20K倍 | ||
驅動速度 | 上下速度(Z軸) | Max 100mm/s | |
測量速度(X軸) | 0.03～3mm/s（粗度量測時）、0.03~20mm/s（形狀量測時） | ||
移動速度(X軸) | Max 100mm/s | ||
移動速度(Y軸) | Max 100mm/s | ||
測針 | 半徑 | 0.75mN | 10mN |
測定力 | 2μmR | 5μmR | |
材質 | 鉆石材質 | ||
其它 | 電源 | 單相AC100~230V±10﹪、50/60Hz | |
消費電力 | 1000VA | ||
重量 | 2000kg | 1700kg | |
