PSP.3A.20RN.01B型三維探針臺是PSP.6A.12RN.01A型三維探針臺的升級版本，采用比HDS-MLF更高、控制效果更好的HDS-HF1系列大推力馬達進行驅動。具備更穩定的性能及更為優異的性，是實驗室及生產檢測環節高運動檢測的選擇。
　　該產品除用于高的各種電學性能檢測外，更可以與其它可選配件搭配組合成光學耦合或光纖對接用平臺。
　　
　　應用領域：
　　根據測試樣品分類  根據應用分類
　　晶圓測試  射頻測試
　　LED測試  高溫環境測試
　　功率器件測試  低溫真空測試
　　MEMS測試  低電流（fA）測試
　　PCB測試  I-v/c-v/p-iv測試
　　液晶面板測試  高壓，大電流測試
　　太陽能電池片測試  氣體環境測試
　　材料表面電阻測試  強磁環境測試
　　納米器件測試  輻射環境測試
　　
　　PSP.3A.20RN.01B規格參數
　　行程（單軸行程）  20mm（X軸＆Y軸＆Z軸）
　　馬達  HDS-HF1
　　小步長  0.1um（開環系統）
　　速度  200mm/s
　　負載  50g
　　控制方式  標準品自帶HDS控制驅動一體機，配三軸霍爾操縱桿
　　導軌類型  IKO直線滾珠導軌
　　結構材質  鋁合金6061-T6（不銹鋼可選）
　　裝配質量  200g
　　標準產品為一套三維探針臺，一臺HDS控制驅動一體機及一個的三軸霍爾操縱桿，如前頁圖片所示。
　　可選配件：
　　15、  光柵閉環系統
　　16、  不同規格探針
　　17、  壓電精密XY軸樣品載物臺或手動XY樣品載物臺
　　18、  不同規格顯微觀察系統及顯微鏡萬向連接裝置
　　19、  可定制不同規格尺寸安裝底座及連接底板
　　20、  真空吸附型卡盤（不銹鋼、黃銅材質可選）
　　21、  積分球夾具
　　22、  視頻CCD系統
　　23、  封裝器件夾具
　　24、  PCB板夾具
　　25、  樣品加熱系統
　　26、  光學隔振平臺
　　27、  屏蔽箱
　　28、  強磁場及高真空度使用請直接咨詢廠商以獲得更加詳細的信息
　　
　　使用環境：
　　實驗室、室、真空環境使用（具體細節請咨詢廠商）
　　環境溫度：0–50°C
　　保存溫度：-40°C-＋70°C
　　濕度：0–80%無結露