＆Oslash；通過自動定位功能操作性測量樣品時，以往需花費約10秒的樣品對焦，現在3秒內即可完成，大大樣品定位的操作性。
＆Oslash；微區膜厚測量通過縮小與樣品間的距離等，致使在微小準直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度膜厚測量的。
＆Oslash；多達5層的多鍍層測量使用薄膜FP法軟件，即使沒有厚度標準片也可進行多達5層10元素的多鍍層測量。
＆Oslash；廣域觀察系統（選配）可從250×200mm的樣品整體圖像指定測量位置。
＆Oslash；對應大型印刷線路板（選配）可對600×600mm的大型印刷線路板進行測量。
＆Oslash；位與以往機型相比，既了功能性又降低20%以上的價格。
＆Oslash；微區膜厚測量通過縮小與樣品間的距離等，致使在微小準直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度膜厚測量的。
＆Oslash；多達5層的多鍍層測量使用薄膜FP法軟件，即使沒有厚度標準片也可進行多達5層10元素的多鍍層測量。
＆Oslash；廣域觀察系統（選配）可從250×200mm的樣品整體圖像指定測量位置。
＆Oslash；對應大型印刷線路板（選配）可對600×600mm的大型印刷線路板進行測量。
＆Oslash；位與以往機型相比，既了功能性又降低20%以上的價格。
