| 型號 參數 | VM-4030 | |
| 工 作 臺 | X,Y軸行程 | 400*300mm |
| Z軸行程(選) | 200mm調焦及輔助測量 | |
| 工作臺尺寸 | 700*520mm | |
| 傳動方式 | 手動無牙螺桿傳動 | |
| 數位測量系統 | 線位移光柵尺解析度:X、Y、Z軸0.001mm/0.0005mm | |
| 測量軟件一套 | ||
| U-301數據采集盒 | ||
| 影像瞄準系統 | 1/3”高清晰彩色CCD攝像機 | |
| 變倍率鏡頭:0.7×~ 4.5× | ||
| 照明系統 | 頂燈源72顆,底燈源7顆,均為LED冷光源,亮度可調節。 | |
| 電氣參數 | 輸入電壓AC220V/50HZ,輸出電壓DC12V | |
| 外形尺寸(mm) | 880*930*1025mm | |
| 儀器重量 | 500kg | |
| 量測 | (3+L/100)μm | |








