一、儀器用途：
　　TGB-600大平臺(tái)明暗場(chǎng)硅片檢測(cè)顯微鏡是適用于對(duì)太陽(yáng)能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離的平場(chǎng)消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時(shí)配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭。本儀器配有暗場(chǎng)物鏡，使觀察硅片時(shí)圖像更加清晰，是檢測(cè)太陽(yáng)能電池硅片的”金字塔”的微觀形貌分布情況，及硅片的缺陷分析的理想儀器。
　　硅片檢測(cè)顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測(cè)的位錯(cuò)、劃痕、崩邊等；還可以對(duì)硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析。雜質(zhì)包括：顆粒、雜質(zhì)、無(wú)機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格。是太陽(yáng)能電池硅片生產(chǎn)過(guò)程中不可少的檢測(cè)儀器之一。
　　
　　二、技術(shù)參數(shù)：
　　1.目鏡類型放大倍數(shù)視場(chǎng)（mm）
　　大視野目鏡 10XΦ22
　　2.物鏡類別放大倍數(shù)數(shù)值孔徑（NA）工作距離（mm）
　　明暗場(chǎng)遠(yuǎn)長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡 5X 0.12 9.7
　　10X 0.25 9.3
　　20X 0.40 7.3
　　50X 0.70 2.5
　　80X 0.80 1.25
　　3.光學(xué)放大倍數(shù)：50X 100X 200X 500X 800X
　　
　　4.三目鏡30°傾斜，雙目瞳距調(diào)節(jié)范圍：53~75mm
　　5.五孔轉(zhuǎn)換器
　　6.調(diào)焦機(jī)構(gòu)：粗微動(dòng)同軸調(diào)焦，微動(dòng)格值：0.8μm，粗動(dòng)松緊可調(diào)，帶鎖緊和限位裝置
　　7.載物臺(tái)機(jī)械式尺寸：280mmX270mm；移動(dòng)范圍橫向（X）204mm，縱向（Y）204mm
　　8.偏光裝置起偏振器，可360度旋轉(zhuǎn)，可推拉切換；檢偏振器，可推拉切換
　　9.照明系統(tǒng)12V 50W鹵素?zé)?，亮度可調(diào)
　　10.霉：的霉系統(tǒng)
　　11.成像系統(tǒng)：高像素的CCD攝像頭
　　
　　三、系統(tǒng)組成（TGB-600）：
　　1.硅片顯微微
　　2.適配鏡
　　3.CCD攝像器
　　4.A/D圖像采集卡
　　四、總放大參考倍數(shù) TGB-600：50-3800倍
　　五、選購(gòu)件
　　1.圖像測(cè)量軟件
　　2.目鏡：10X（帶刻度）
　　3.物鏡：40X 60X