- 儀器簡介:
- 微區(qū)X射線熒光光譜分析技術(shù)是對(duì)不均勻樣品、不規(guī)則樣品、甚至小件樣品和包裹物進(jìn)行高靈敏度的、非破壞性的元素分析的方法。采用多導(dǎo)毛細(xì)管聚焦鏡將激發(fā)光聚焦到小的區(qū)域,以獲得的空間分辨率,進(jìn)行快速分析。任何類型的樣品都可以通過簡單的樣品制備甚至不制備直接進(jìn)行分析。
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技術(shù)參數(shù): -
技術(shù)參數(shù)
樣品類型 固體、顆粒、液體、多層膜
樣品室尺寸 W×D×H:600×350×260mm
樣品臺(tái)尺寸 W×D:330×170mm
測量氣氛 大氣/真空,在100秒內(nèi)準(zhǔn)備就緒
樣品移動(dòng) 移動(dòng)范圍 W×D×H:270×240×120mm
移動(dòng)速度 渦輪增速樣品臺(tái)移動(dòng)速度可達(dá)100mm/s
激發(fā) 配多導(dǎo)毛細(xì)管聚焦鏡的度X射線光管
選項(xiàng):可同時(shí)使用不同靶材的雙光管
X射線光管參數(shù)
靶材 Rh,可選靶材:Mo,Ag,Cu,W
電壓 50kV,800μA
光斑大小 小于30μm(對(duì)于Mo-K)
濾光片 根據(jù)用戶要求,多6塊濾光片
探測器 XFlash®硅漂移探測器
選項(xiàng):可多同時(shí)使用3個(gè)探測器
探測器參數(shù)
面積 10mm2,選項(xiàng):30mm2
能量分辨率 計(jì)數(shù)率250,000cps時(shí)分別125eV、135eV
儀器控制 的PC機(jī),Windows XP或Vista操作系統(tǒng)
儀器控制功能 光管參數(shù)、濾光片、光學(xué)顯微鏡、樣品照明和樣品定位的控制
光譜評(píng)估 譜峰識(shí)別、人工和自動(dòng)背景校正、峰面積計(jì)算、對(duì)于塊狀樣品和多層膜樣品基于標(biāo)樣和無標(biāo)樣模式的定量分析
分布分析 “飛行中”測量模式,HerMap軟件功能
結(jié)果顯示 定量結(jié)果、統(tǒng)計(jì)計(jì)算、元素分布(線掃描、面分布)
電源要求 110-240V(1P),50/60Hz
尺寸(寬×深×高) 815×680×580mm,130kg
質(zhì)量和 DIN EN ISO 9001:2000, CE
輻射護(hù)系統(tǒng);輻射劑量<1μSv/h -
主要特點(diǎn): - M4 TORNADO采用了的技術(shù),為各種用戶提供了的分析性能和方便的操控性。
- 采用多導(dǎo)毛細(xì)管聚焦鏡,照射光斑小,空間分辨率。
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渦輪增速X-Y-Z樣品臺(tái),借助放大倍數(shù)可變的攝像系統(tǒng)獲得的樣品影像,可在“飛行中”進(jìn)行元素分布分析。
度的X射線光管與多導(dǎo)毛細(xì)管聚焦鏡相結(jié)合,在小的照射區(qū)域內(nèi)獲得高的激發(fā)強(qiáng)度。采用濾光片和可以同時(shí)使用的配有不同靶材的雙光管,可以根據(jù)不同的分析要求,優(yōu)化激發(fā)光譜。 - 使用XFlash®探測器速地獲取樣品圖譜,另外,使用多個(gè)探測器可以進(jìn)一步測量速度。
- 采用無標(biāo)樣分析法定量分析塊狀樣品,分析多層膜樣品。







