SEM技術參數: 1.分辨率:高真空(SE)3.0nm at 30kv,8.0nm at 3kv
2.放大倍數:4.5 to&tim;
3.真空系統:高真空<9*10 -a,
4.加速電壓0.2kV to 30Kv
5.電子束電流1pA—20uA
6.樣品室內部直徑:160mm
7.樣品臺行程:
3軸馬達控制
X=45mm——馬達控制
Y=45mm——馬達控制
Z=27mm——手動控制
Z'=6mm——手動控制
R=360°連續馬達控制
T=-90°至 90°手動
樣品高度36mm. EDS技術參數:
分辨率: 133eV(Mn Kα) at 100,000cps
探頭類型: XFlash TM Detector 410 M, 面積 10mm2
探頭窗口: SLEW,探測元素從B(5)到Am(95)
探頭冷卻: Peltier couple (無需液氮)
輸入計數率: 150kcps
定量: 無標樣 PB-ZAF
主要特點: VEGA 3 EasySEM可以觸摸屏進行控制和操作,具有圖像操作和處理功能以及一鍵式EDX分析工具欄。 當一鍵式EDX工具被激活時,系統顯示實時SEM圖片上選定區域的定量分析結果。
系統根據用戶的技能水平可分為3個等級對電鏡進行控制。電鏡的功能都由觸摸屏或鍵盤,鼠標和軌跡球或者選配的控制臺通過Window?平臺上的VegaTC軟件控制。







