產(chǎn)品型號
SMART(1200/780) SMART(1200/1000)
SMART(1200/780) SMART(1200/1000)
SMART(2400/780) SMART(2400/1000)
技術(shù)參數(shù)
箱體材質(zhì) | 304不銹鋼，拉絲處理 |
DN40-KF備用法蘭接口 | 1 |
整體泄漏率 | ＜0.05vol%/h |
前窗面板 | 鋼化玻璃（玻璃選配） |
手套 | Φ220，丁基橡膠材質(zhì)，0.4mm厚 |
照明系統(tǒng) | LED照明 |
擱物架 | 固定擱物架 |
微型過渡艙 | Φ150*400mm |
大過渡艙尺寸 | Φ390*600mm |
小倉抽充 | 手動 |
大倉抽充 | 手動 |
清洗 | 手動 |
小倉加熱（室溫～200℃） | 備選 |
大倉加熱（室溫～200℃） | 備選 |
氣體凈化體統(tǒng)類型 | 單 氣體凈化柱 |
氣體凈化體統(tǒng)型號 | EP1100/EP1200 |
可得水氧含量 | 水＜1ppm，氧＜1ppm |
水分析儀 | EM-MT100 |
氧分析儀 | EM-OT100 |
真空泵 | EDWARDS,RV12 |
油霧過濾器和回油裝置 | 備選 |
再生功能 | 自動再生 |
真空角閥 | KF40（國產(chǎn)） |
循環(huán)風(fēng)量 | 60m3/h，定速 |
風(fēng)機控制 | EM-BL60 |
電源要求 | 220V |
主控制器 | Siemens PLC（S7-200） |
觸摸屏 | EM-TS7（7寸) |
箱體壓力控制 | ±15ar(國產(chǎn)） |
系統(tǒng)主體管路 | 40管路 |
內(nèi)置式冷卻裝置集成 | 備選 |
高溫爐（Max 1200℃） | 備選 |
Spin Coater 集成 | 備選 |
注： EMINEX將不定期的對設(shè)備的外觀和功能進行升級，具體信息請與售后工作人員聯(lián)系
