>> 產品特點
WB300采用高密度微波等離子技術,用于半導體生產中晶圓的清潔和等離子體預處理,微波等離子高度活性、高效,且不會對電子裝置產生離子損害。
微波等離子體系統是下列用途的理想方式:
等離子體表面改性
有機物表面等離子體清潔
邦定強度增強
等離子體刻蝕應用
等離子體灰化應用
增強或減弱浸潤性
其它等離子體系統應用
◆ 等離子發生器(德國)
◆ 控制系統
觸摸電腦+PLC全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界品牌電器元件,性能穩定可靠,并具有手動、自動兩種模式
◆ 真空系統(真空壓力PID閉環自動控制)
英國愛德華斡旋式干泵 GV40
美國MKS真空壓力控制節流閥及薄膜式傳感器
臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN63不銹鋼真空波紋管
◆ 充氣系統
美國MKS高電子質量流量計(2路氣體配制)
美國世偉洛克氣體管路及接口組件,德國雙級減壓閥
日本SMC及CKD高真空氣閥組件
等離子清洗機 / 等離子刻蝕機 / 等離子處理機 / 等離子去膠機 / 等離子表面處理機
等離子清洗-等離子處理-等離子刻蝕-等離子去膠-等離子活化- 等離子表面處理
GDR-PLASMA 山東戈德爾環保科技有限公司成立于1995年,是從事真空及大氣等離子清洗機、等離子處理機、等離子刻蝕機、等離子去膠機、等離子灰化機、等離子表面處理機、等離子表面處理設備,射頻及微波等離子體技術研發、推廣、銷售于一體的高新技術企業,隸屬于戈德爾等離子科技(香港)控股有限公司,總部設于香港 。
山東戈德爾,作為等離子清洗機/等離子處理機/等離子刻蝕機/等離子表面處理機制造企業,是ISO9001企業,公司擁有的低壓、常壓等離子清洗及等離子表面處理技術,并有完備的生產加工設備,可為客戶提供特殊定制服務及短交期,已成為國內具規模化生產能力的全系列等離子清洗機、等離子處理機及等離子表面處理設備公司。
等離子清洗機有幾種稱謂,英文叫(Plasma Cleaner)又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機,等離子表面處理機,電漿清洗機,plasma清洗機,等離子去膠機,等離子清洗設備。等離子清洗機/等離子處理機/等離子處理設備廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子處理和等離子表面處理等場合。通過其等離子表面處理,能夠改善材料表面的潤濕能力,使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作,增強粘合力、鍵合力,同時去除有機污染物、油污或油脂。












