產品概述:
4000是美國矽翔微機電系統有限公司采用的微機電系統（MEMS）流量傳感器技術和智能電子控制技術，專為普通氣體流量監測開發的產品。該傳感器能直接測量氣體質量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監控，還可用于環境采樣器（如色譜分析儀器等）
4003流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低測量范圍到5SLPM；適用于粒子計數器和各類分析儀器。
4008流量傳感器，管道內徑為8mm，測量范圍到50SLPM；可用于麻醉設備、潔凈氣測，如：空氣采樣機，氣體分析儀等
產品特點:
- 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計
- 支持多種連接方式，易于安裝與使用
- 傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，了傳感器的高計量
- 在單個芯片上實現了多傳感器集成，使其量程比了100:1甚至更高
- 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數據或由機查詢輸出數據，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
- 點穩定度高
- 全量程高穩定性、高度和優良的重復性
- 低功耗、低壓損
- 響應速度快
