參數
型號 SURFCOM 1400G
測量范圍
Z 軸（縱向）： 800μ ｍ
X 軸（橫向）： 100 mm 200 mm
測量分辨率：0.02μ ｍ～ 0.0004μ ｍ (0.0001μ ｍ，使用率傳感器 )
Ｘ軸指示（橫向） ±（1+2L/100）μ ｍ?。↙ ：測量長度 mm），測量分辨率0.1μ ｍ
驅動部：直線度0.05+1.5L/1000μ ｍ （L ：測量長度 mm）
檢測方式：莫爾光柵尺線性光柵尺
分析項目
對應標準對應JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO-1997、ISO-1984、DIN-1990、ASME-1995、CMO 標準
參數
Ra, Rq, Ry, Rp, Rv, Rc, Rz, Rmax, Rt, Rz.J, R3z, Sm, S, RΔa, RΔq, Rλa, Rλq,
TILT A, Ir, Pt, Pc, Rsk, Rku, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, VO, K, tp, Rmr, tp2, Rmr2, Rδc,
Hmax, Hmin, AREA, NCRX, R, Rx, AR, NR, , SR, SAR
評價曲線
斷面曲線、粗さ曲線、ろ波うねり曲線、ろ波中心線うねり曲線、転がり円うねり曲線、
斷面曲線、粗糙度曲線、濾波波紋度曲線、濾波中心線波紋度曲線、滾動圓波紋度曲線、滾動圓中心線波紋度曲線、
DIN4776曲線、粗糙度Motif曲線、波紋度Motif曲線、包絡波紋度曲線
特性曲線負荷曲線、振幅分布曲線、功率曲線圖
傾斜補償方法：直線補償、R面補償、前半補償、后半補償、兩端補償、樣條補償（直線補償、R面補償及兩端補償可在任意范圍進行補償）
倍率
縱向倍率（Z 軸） 50 、100 、200 、500 、1 k 、2 k 、5 k 、10 k 、20 k 、50 k 、100 k 、200 k* 、500 k*、自動
橫向倍率（X 軸） 1 、2 、5 、10 、20 、50 、100 、200 、500 、1 k 、2 k 、5 k 、自動
濾波器種類標準型濾波器（2RC）、相位補償型濾波器（2RC）、相位補償濾波器（高斯）
測量速度 0.03、0.06、0.15、0.30、0.60、1.5、3、6mm/s（ 8速）
立柱上下運動速度：（Z 軸） 10 mm/s
檢測方式：差動變壓器
測量力：0.75 mN
測針半徑（測針材質） 粗糙度測針：2μm R（60°圓錐金剛石） 波紋度齒輪頭：800μm R（紅寶石球）各1 個 標準配置
立柱上下移動行程：250 mm
尺寸：600×317 mm
