

該設(shè)備可用于將紫外線輻照在晶圓背面的切割膠帶上,以降低粘合強(qiáng)度。
我們具有一系列全自動(dòng)型和半自動(dòng)型粘貼器,可用于尺寸較大的晶圓。
UA3000II全自動(dòng)
可使用單切割環(huán)盒
輻照面積擴(kuò)大(相對(duì)于框架面積)
采用無臭氧型UV燈
觸摸屏設(shè)計(jì),操作簡(jiǎn)便
內(nèi)置照度傳感器
配備自動(dòng)照射時(shí)間設(shè)定功能,可獲得穩(wěn)定的累計(jì)光量
具有 N2凈化功能
紫外線輻照之后檢查標(biāo)記印記
日志文件功能標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
合 CE mark/SEMI S2/S8"規(guī)范要求
可用框架/晶圓尺寸:300 mm/200 mm
可用晶圓尺寸:300 mm/200 mm
吞吐量:60晶圓/小時(shí)
UA8400全自動(dòng)UV照射機(jī)
可使用單切割環(huán)盒
輻照面積擴(kuò)大(相對(duì)于框架面積)
采用無臭氧型UV燈
觸摸屏設(shè)計(jì),操作簡(jiǎn)便
內(nèi)置照度傳感器
配備自動(dòng)照射時(shí)間設(shè)定功能,可獲得穩(wěn)定的累計(jì)光量
輻照面積擴(kuò)大(相對(duì)于框架面積)
具有 N2凈化功能
紫外線輻照之后檢查標(biāo)記印記
日志文件功能標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
合 CE 標(biāo)志/SEMI S2/S8規(guī)范要求
可用框架尺寸:8/6英寸
可用晶圓尺寸:8/6/5/4英寸
吞吐量:TAIKO 晶圓:100晶圓/小時(shí)
UM810/UM110半自動(dòng)機(jī)型
照射強(qiáng)度感應(yīng)器(可選)
可定時(shí)設(shè)定照射時(shí)間
晶圓貼裝架的放置、取出要用手工操作
配有紫外線輻照計(jì)時(shí)器(設(shè)定范圍:0-999 sec.)
具有 N2凈化功能
紫外線照度計(jì)(可選)
輻照面積擴(kuò)大(相對(duì)于框架面積)(可選)
可用框架尺寸:UM810:8/6英寸 UM110:6英寸
可用晶圓尺寸:UM810:8/6/5/4英寸 UM110:6/5/4英寸


該設(shè)備可用于將紫外線輻照在晶圓背面的切割膠帶上,以降低粘合強(qiáng)度。
我們具有一系列全自動(dòng)型和半自動(dòng)型粘貼器,可用于尺寸較大的晶圓。
UA3000II全自動(dòng)
可使用單切割環(huán)盒
輻照面積擴(kuò)大(相對(duì)于框架面積)
采用無臭氧型UV燈
觸摸屏設(shè)計(jì),操作簡(jiǎn)便
內(nèi)置照度傳感器
配備自動(dòng)照射時(shí)間設(shè)定功能,可獲得穩(wěn)定的累計(jì)光量
具有 N2凈化功能
紫外線輻照之后檢查標(biāo)記印記
日志文件功能標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
合 CE mark/SEMI S2/S8"規(guī)范要求
可用框架/晶圓尺寸:300 mm/200 mm
可用晶圓尺寸:300 mm/200 mm
吞吐量:60晶圓/小時(shí)
UA8400全自動(dòng)UV照射機(jī)
可使用單切割環(huán)盒
輻照面積擴(kuò)大(相對(duì)于框架面積)
采用無臭氧型UV燈
觸摸屏設(shè)計(jì),操作簡(jiǎn)便
內(nèi)置照度傳感器
配備自動(dòng)照射時(shí)間設(shè)定功能,可獲得穩(wěn)定的累計(jì)光量
輻照面積擴(kuò)大(相對(duì)于框架面積)
具有 N2凈化功能
紫外線輻照之后檢查標(biāo)記印記
日志文件功能標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
合 CE 標(biāo)志/SEMI S2/S8規(guī)范要求
可用框架尺寸:8/6英寸
可用晶圓尺寸:8/6/5/4英寸
吞吐量:TAIKO 晶圓:100晶圓/小時(shí)
UM810/UM110半自動(dòng)機(jī)型
照射強(qiáng)度感應(yīng)器(可選)
可定時(shí)設(shè)定照射時(shí)間
晶圓貼裝架的放置、取出要用手工操作
配有紫外線輻照計(jì)時(shí)器(設(shè)定范圍:0-999 sec.)
具有 N2凈化功能
紫外線照度計(jì)(可選)
輻照面積擴(kuò)大(相對(duì)于框架面積)(可選)
可用框架尺寸:UM810:8/6英寸 UM110:6英寸
可用晶圓尺寸:UM810:8/6/5/4英寸 UM110:6/5/4英寸










