作為潔凈廠房設計的先導步驟,工藝設計需要在滿足電子產品生產要求的前提下合理進行潔凈廠房生產設備布局,合理確定各種公用動力設施的技術參數,做到能量消耗少、運行費用低、生產效率高和建設投資少;同時,還需要合理進行路線、物料運輸和倉儲設施的配置和布置,滿足電子產品潔凈生產要求和產品生產工藝要求;
因此,電子工廠潔凈廠房的設計、建造須適應這種快速發展的需要。從潔凈廠房的規劃開始,對于電子工廠潔凈廠房的工藝設計、工藝布局應充分考慮電子產品發展的靈,以滿足電子產品生產工藝改造和擴大生產的需求。
以集成電路芯片制造、TFT-LCD液晶顯示屏生產用潔凈廠為代表的電子產品微細加工類生產潔凈廠房,具有潔凈度要求嚴格、大面積、大體量和能耗大、運行費用高的特點,這就對電子產品潔凈廠房的工藝設計提出了更高的要求。
根據產品的生產特征和產能規劃選擇各種生產設備的型號及數量是工藝設計的要任務。在目標產品和產能規模已經確定的前提下,需要根據工藝流程、設備的加工能力和使用效率計算出各個工藝環節所需的各種類型設備的臺套數。以此為基礎,進一步計算出生產所需的潔凈區面積、員工人數以及水、電、氣體的消耗量。
生產設備的平面布局也是電子潔 潔凈室工藝設計的重要內容。電子廠房潔凈室形式一般有隧道式(或稱港灣式)、開放式、島形布置等。據調查表明,集成電路芯片制造用潔凈室一般采用隧道式和開放式,其中隧道式潔凈室主要用于5英寸、6英寸芯片制造廠,生產設備橫跨潔凈生產區和設備維護區,潔凈生產區對潔凈度要求嚴格,而設備維護區的空氣潔凈度等級相對較低。
工作人員是 潔凈室內塵埃微粒的主要來源。在工藝設計中,一方面應該盡量選擇自動化程度較高的生產及運輸設備,以便減少潔凈室內的人員數量。
另外,由于電子產品更新換代快,在電子工廠的實際生產中,在線維修及調試、邊生產邊增加設備的情況很多,因此在進行工藝布局時,應根據具體情況,考慮這些因素,留出相應的運作空間。
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