| 產品類型 | 高型,快響應型,全金屬密封型,數字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾 |
| 流量量程 | 1sccm,2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm,50slm |
| 產品 | ±0.35%F.S.(<35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.) |
| 重復 | ±0.2% FS |
| 線性 | ±0.5% F.S. |
| 響應時間 | ≤1sec |
| 工作溫度范圍 | (0~50)°C |
| 耐壓 | 3MPa |
| 密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,金屬密封 Metal |
| 輸入輸出信號 | (0~5)VDC |
| 電源 | ±15V,24V |
| 閥類型 | 常閉 |
| 溫度系數 | Span: ≤±0.05% F.S./℃,Span: ≤±0.1% F.S./℃ |
| 零點飄移指標 | - 無 - |
| 電氣連接 | Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male |
| 工作壓差范圍 | (0.05~0.35) MPa (F.S.≤10slm),(0.1~0.35)MPa(10slm≤F.S.≤30slm) |
| 漏率 | 1×10-9atm?cc / sec He(1×10-10 Pa?m3 / sec He) |
| 標準接頭形式 | 雙卡套Φ3,雙卡套1/8”,φ4(內)×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內)×1軟管接頭 |
| 表面化學成分 |
|
| 表面粗糙度 | 25μinch |
| 抗電磁干擾 | - 無 - |
| 重量 | 1.2Kg |