合肥共享實(shí)驗(yàn)室-粗糙度輪廓儀檢測
表面粗糙度是機(jī)械加工中描述表面微觀形貌常用的參數(shù)，它反映的是機(jī)械件表面的微觀幾何形狀誤差，隨著機(jī)械加工行業(yè)的發(fā)展表面粗糙度測量技術(shù)也得到長足進(jìn)步，是70年代中后期，隨著微電子計(jì)算機(jī)應(yīng)用的逐步普及和現(xiàn)代光學(xué)技術(shù)、激光應(yīng)用技術(shù)的發(fā)展，使粗糙度測量技術(shù)在機(jī)械加工、光學(xué)加工、電子加工等精密加工行業(yè)中的顯得愈發(fā)重要。
表面粗糙度輪廓儀的接觸式，即采用觸針法。觸針法又稱針描法，它是將一個很尖的觸針(半徑可以做到微米量級的金剛石針尖)垂直安置在被測表面上作橫向移磯觸針將隨著被測表面輪廓形狀作垂直起伏運(yùn)將這種微小位移通過電路轉(zhuǎn)換成電信號并加以放大和運(yùn)算處理，即可得到工作表面粗糙度參數(shù)值，主要分為電感式壓電式感應(yīng)式等幾種。這種儀器穩(wěn)定性好，示數(shù)客觀，使用方便等優(yōu)點(diǎn)，其垂直分辨力可幾納米。
其優(yōu)點(diǎn)：測量范圍大、分辨率高、測量結(jié)果穩(wěn)定、重復(fù)性好。但是也存在很多的缺點(diǎn)：(1)金剛石測量頭的硬度一般很高，易劃傷工件，不適宜測量高質(zhì)量和軟質(zhì)材料表面。(2)為滿足測量頭頭部的性和剛度要求，測量頭不能做的過于細(xì)小和尖銳，易影響測量。(3)測量微觀表面輪廓時，為了掃描路徑方向上的和橫向分辨率，進(jìn)給步距很小，所以測量速度不高。
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