全自動鼻輪設計、軟件控制
3A (3 Automatic) 特點設計
鼻輪自動變倍
鏡頭自動對焦
光源自動控制
采用 ARCS 精密光學尺,分辨率為 0.1μm
線性 X、Y 軸 < 1μm (1+L/200) μm)
重復 <1 μm
搭配 SI-901幾何影像量測軟件
1. 晶圓焊線(Die Bonding)確認
(a) 基底高度量測
(b) 蛋白高量測
(c) 蛋白 X軸、Y軸距離量測
(d) 線弧高量測

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全自動鼻輪設計、軟件控制
3A (3 Automatic) 特點設計
鼻輪自動變倍
鏡頭自動對焦
光源自動控制
采用 ARCS 精密光學尺,分辨率為 0.1μm
線性 X、Y 軸 < 1μm (1+L/200) μm)
重復 <1 μm
搭配 SI-901幾何影像量測軟件
1. 晶圓焊線(Die Bonding)確認
(a) 基底高度量測
(b) 蛋白高量測
(c) 蛋白 X軸、Y軸距離量測
(d) 線弧高量測