1. 聲顯微成像儀（生產(chǎn)型設(shè)備）
聲顯微成像儀FastLine P300，F(xiàn)AS2 DF2400。
FastLine P300的緊湊設(shè)計(jì)將占地面積減到的小，其的輸送系統(tǒng)能夠在掃描一個(gè)JEDEC盤或樣品盤的同時(shí)將下要掃描的樣品放在水中的另一個(gè)托盤上等待掃描。 FastLine已經(jīng)成為元器件篩選的新平臺(tái)。
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? 輸送系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)量的大化（）； ? 準(zhǔn)確定位，更快掃描及自動(dòng)分析； ? 運(yùn)用Visual PolyGate技術(shù)實(shí)現(xiàn)建議快捷的多層深度掃描； ? 多語種操作系統(tǒng)和直觀的操作界面； ? 人體工程學(xué)設(shè)計(jì)以操作者的舒適度及工作效率； ? 占地面積的小化的適宜在車間使用。 |
FAS2自動(dòng)檢測JEDEC托盤或工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)載盤 (Auer Boat Carrier) 中的器件。該FAS2也可以處理引線框架條，IGBT功率模塊，多層陶瓷貼片電容，倒裝芯片和其他組件。
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? 機(jī)臺(tái)匹配功能； ? 與SECS-Ⅱ/GEM(SEMI E30)及SMEMA兼容； ? 非浸水的瀑布式和/或噴泉式探頭； ? 自動(dòng)數(shù)據(jù)分析軟件包； ? 真空吸附功能（選項(xiàng)）讓小樣品在掃描中固定不動(dòng)； ? 分離式干燥腔，可加4個(gè)擺動(dòng)的氣刀；可加熱空氣（選項(xiàng)） ? 的全分析能力； ? 具有JEDEC托盤，Auer Boat載盤或者IGBT模塊多種掃描組件選擇。 |
2. 聲顯微成像儀（實(shí)驗(yàn)室設(shè)備）
聲顯微成像儀D9600，GEN6。
專門為故障分析，工藝開發(fā)，材料特性批量的生產(chǎn)檢測而設(shè)計(jì)一款通用工具，D9600的功能是真正擬的。
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? 多門控成像和好的門控功能的PolyGate技術(shù)具有單層和多層聚焦成像的能力； ? 每個(gè)通道可達(dá)100個(gè)門； ? Windows7多語言版及64位能力； ? 好的的掃描，以掃描機(jī)構(gòu)為參照點(diǎn)的掃描平臺(tái)和樣品夾具； ? 還有數(shù)字圖像分析，水循環(huán)，瀑布式探頭及在線溫度控制等選項(xiàng)。 |
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Gen6 所具有的功能的為廣泛， 能適用于失效分析，工藝改進(jìn)，研發(fā)，高性好的及中等 產(chǎn)量篩選等。
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? 包括D9600的特色，外加上： ? Sonosimulator功能用于多層分析； ? VRM虛擬再升掃描功能； ? 探頭可選至400MHz； ? ASF表面平整度測量功能； ? DIA數(shù)字圖像分析； ? 慣性平衡裝置； ? 雙高清顯示屏； ? 可選弧形桌面和矩形桌面； ? FDI頻域成像功能。 |
3. 聲顯微成像儀（型設(shè)備）
聲顯微成像儀AW系列，J610。
AW系列產(chǎn)品是專門為晶圓檢測設(shè)計(jì)的全自動(dòng)系統(tǒng)。適 用 于多種鍵合晶圓 (SOI,MEMS,LED, 2.5D和3D)的檢測分析具有高的靈敏度和產(chǎn)能。AW系列能夠檢測出兩晶片間直徑小于 5微米的空洞以及晶片間薄如200埃的脫層。。
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? Quantitative Dynamic Z量化動(dòng)態(tài)Z功能-對不平等的晶圓保持聚焦 ? 與SECS-Ⅱ/GEM/SIMI300毫米標(biāo)準(zhǔn)兼容； ? 全自動(dòng)檢測100mm至300mm的晶圓； ? 瀑布式探頭提供非浸泡掃描； ? 行業(yè)的圖像分析功能； ? BOLTS標(biāo)準(zhǔn)接口適用于FOUPs，SMIFPod，F(xiàn)O及開放式晶圓盒； ? 自供水和抽真空組件（選項(xiàng)） |
J610是一款半自動(dòng)產(chǎn)線設(shè)備，能夠掃描610mm(24in)寬的印刷電路板及樣品，也可以同時(shí)掃描6個(gè)JEDEC盤。
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? 慣性平衡線性掃描儀； ? AutoScan功能快速對特定區(qū)域進(jìn)行重復(fù)掃描分析； ? DIA數(shù)字圖像分析功能能設(shè)置自動(dòng)接受/拒收標(biāo)準(zhǔn)； ? 溫度控制選項(xiàng)能好的控制水溫； ? Sonoscan專有的Q-BAM量化B-掃描功能提供虛擬橫截面圖像； ? Sonolitics操作界面利用Windows7Ulitmate實(shí)現(xiàn)多種語言互換和64位的能力。 |
