ICSPI通過整合機電一體化系統，將傳統AFM集成到 一個CMOS芯片上，設計生產出世界款單芯片動態 原子力顯微鏡（Single-Chip Dynamic Atomic Force Microscope）nGauge：更小、更快、更強！nGauge集成化原子力顯微鏡大，操作簡便， 環境適應性強；具有卓越的振動免疫性，更少的漂 移，。
產品概述和特點
?集成熱壓阻共振懸臂梁，可變換，成像時間 少于1分鐘（無需激光對準）；
?熱距離傳感器可在數秒內自動化完成針尖靠近；
?熱電MEMS驅動器高精移動懸臂針尖，具有低漂 移，適應長時成像實驗；
?系統高度集成小巧，具有強的振動免疫性，可 在任意平面上直接測量，無需隔震；
?氧化鋁針尖具有長使用壽命，可連續成像過 10000張。
nGauge應用方向
技術參數
nGuage AFM參數
掃描范圍（XYZ） | <=15umx15umx10um |
XY掃描分辨率 | <0.5nm |
XYZ驅動方式 | 電熱法 |
傳感器 | 壓阻 |
動態RMS噪聲 | <1nm |
成像模式 | 間斷接觸，動態AFM |
掃描速度 | >8lines/s |
硬件參數
系統尺寸 | 70mmx90mmx75mm |
載物臺尺寸（XY） | 70mmx43mm |
Z軸行程 | 20mm |
驅動方式 | 步進電機 |
系統重量 | 450g |
隔震裝置 | 無需額外隔震裝置 |
