布魯克Bruker原子力顯微鏡探針AFM探針 輕敲模式 OTPA R3

針尖位于測微懸臂的前端，使用者容易定位。

此型號為布魯克貼標產品，同型號奧林巴斯OMCL-AC160TS-R3 探針。

懸臂共振頻率：300 (±100) kHz（空氣中），彈性系數：26 N/m。

針尖曲率半徑：7nm（典型值）

AL涂層。

OTPA-R3可視探針優點：

1)激光定位更容易

針尖位于懸臂的末端。探針定位更容易，是當AFM和光學顯微鏡結合使用時，如使用Bioscope Rolve時。

 2)高橫向分辨率:

針尖曲率半徑對圖像分辨率有大影響。四面體形狀是獲得點更小針尖曲率半徑的理想形狀。Otpa—R3曲率半徑很小，即使有鋁涂層，其平均曲率也小于10nm。

OTPA探針覆蓋了廣泛的應用范圍，但它在晶體表面、薄膜、IC器件等方面的觀察出色。

3)粗糙樣本的觀察:

針尖薄，頂錐角為35度，使用者可以看到樣品的一部分。此外，針尖是一個傾斜的角度，安裝到AFM上以后，這個角度會變小(可能是5到20度)。這對粗糙樣品同樣適用。

詳細規格：

延展閱讀：

關于布魯克：

布魯克公司以的生產工藝，的AFM領域背景，的生產裝備，賦予探針制造眾多的優勢，在廣泛的應用領域中提供完整的AFM解決方案。

布魯克AFM探針制造中心優勢：

*Cl100級別的室

*的設計、制造工序及制造工具

*探針設計團隊與AFM設備研發團隊通力合作，配合緊密

*訓練有素的生產團隊，制造出各種型號的探針

*的質量管理體系，探針性能行業

在實驗中，用戶所得到的數據取決于探針的質量及探針的重復性。布魯克的探針具有嚴格的納米加工控制，的質量測試，和AFM領域的背景。所以用戶盡可放心，我們的探針不為您當前的應用提供所需的結果，同時也能為將來的研究提供參考數據。

原子力顯微鏡AFM探針:  

探針的工作模式：主要分為：掃描(接觸)模式和輕敲模式

探針的結構：懸臂梁+針尖

探針針尖曲率半徑Tip Radius：一般為10nm到幾十nm。

制作工藝：半導體工藝制作

指標：

探針的指標主要分三個部分，分別對應了基片，微懸臂梁，和針尖三個部分。

1. 基片，就是基片的長，寬，高，各種探針的基片尺寸是基本一致的。

2. 懸臂梁，分為矩形梁和三角形懸臂梁，他們的長寬厚的幾何尺寸決定了懸臂梁的彈性系數和共振頻率。而彈性常數K是探針的很重要的一個參數，一般來說，接觸模式的探針的彈性常數小于1N/m。輕敲模式的探針的懸臂梁彈性系數從幾個N/m到幾十個N/m。常用的RTP的彈性常數是40N/m。

3. 針尖，針尖的的幾何形狀是一個四面體。指標主要有，曲率半徑(Tip Radius)，探針高度（Tip Height），對應于四面體的指標，前角（Front Angel），后角（Back Angel），側角（Side Angel），還有一個是Tip Set Back，對應的是針尖離懸臂梁末端的水平距離。

材質：

1. 輕敲探針：一般是單晶硅，型號如RTP；

2. 接觸模式探針：材質是SiN，而新型號的SNL接觸探針，懸臂梁是SiN，而針尖則Si（曲率半徑2nm左右），這種探針可以提供接觸模式下的分辨率圖；

3. 功能探針：如磁力探針（MP），導電探針，則是在普通的硅探針的基礎上再鍍上相應的材料。MP的鍍層是Co/Cr，SCM-PIT的鍍層是Pt。

常用探針型號介紹：

  常用探針型號介紹

1. 輕敲模式，RTPA-300，TP，FP

2. 接觸模式，SNL，NP，

3. 智能掃描模式：Scanasyst air,ScanAsyst-fluid,ScanAsyst-Fluid+

4. 磁力顯微鏡，MP-V2,MP-RC-V2

5. 靜電力顯微鏡，導電AFM，等電學測量模式，DDP，SCM-PIT，SCM-PIC等。

6.  其他功能探針。如金剛石探針，大長徑比探針。