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        AFM探針基本都是由MEMS技術加工 Si 或者 Si3N4來制備. 探針針尖半徑一般為10到幾十 nm。微懸臂通常由一個一般100~500μm長和大約500nm~5μm厚的硅片或氮化硅片制成。典型的硅微懸臂大約100μm長、10μm寬、數微米厚。

利用探針與樣品之間各種不同的相互作用的力而開發了各種不同應用域的顯微鏡，如AFM(范德華力)，靜電力顯微鏡EFM(靜電力)磁力顯微鏡MFM(靜磁力)側向力顯微鏡LFM(探針側向偏轉力)等， 因此有對應不同種類顯微鏡的相應探針。

原子力顯微鏡的探針主要有以下幾種:

(1)、 非接觸/輕敲模式針尖以及接觸模式探針:常用的產品，分辨率高，使用壽命一般。使用過程中探針不斷磨損，分辨率很容易下降。主要應用與表面形貌觀察。

(2)、 導電探針:通過對普通探針鍍20-40納米厚的Pt(以及別的提高鍍層結合力的金屬，如Au、Cr、Ti和Pt與Ir的合金等)得到。導電探針應用于EFM，KFM，SCM等。導電探針分辨率比tapping和contact模式的探針差，使用時導電鍍層容易脫落，導電性難以長期保持。導電針尖的新產品有碳納米管針尖，金剛石鍍層針尖，全金剛石針尖，全金屬絲針尖，這些新技術克服了普通導電針尖的短壽命和分辨率不高的缺點。

(3)、磁性探針:應用于MFM，通過在普通tapping和contact模式的探針上鍍Co、Fe等鐵磁性層制備，分辨率比普通探針差，使用時導電鍍層容易脫落。

(4)、大長徑比探針:大長徑比針尖是為測量深的溝槽以及近似鉛垂的側面而設計生產的。特點:不太常用的產品，分辨率很高，使用壽命一般。技術參數:針尖高度> 9μm;長徑比5:1;針尖半徑< 10 nm。

(5)、類金剛石碳AFM探針/全金剛石探針:一種是在硅探針的針尖部分上加一層類金剛石碳膜，另外一種是全金剛石材料制備(價格很高)。這兩種金剛石碳探針具有很大的耐久性，減少了針尖的磨損從而增加了使用壽命。

還有生物探針(分子功能化)，力調制探針，壓痕儀探針

        Park四面體探針測微懸臂的特點，在于探針位于測微懸臂的Z端，由此易于清楚確認探針與樣品的位置關系，從而迅速而準確地對準測定位置。為滿足客戶多種特殊需求，此產品備有標準型、鉑膜型和四面刃型三種類型的硅探針可供選擇。
 

        OMCL-AC240TS 10M
        微軟型(Medium-soft Silicon Cantilever)
        適用于測量易受損(Soft)的樣品
        在輕敲模式中擁有Z微小的彈性系數2 N/m的硅懸臂,適合用來觀測局部解剖的表面與柔軟樣品的黏彈性;

        Medium-soft Silicon Cantilever

        Spring constant of 2 N/m (norminal) is smallest of silicon cantilevers, suitable for observing surface ography ａnd viscoelasticity of soft samples.(2n/m,70khz)

        AFM的測量模式：

※接觸式(Contact mode)：

  探針與材料表面間的距離為(2~3nm)。在掃描時，針尖與樣品表面輕輕接觸，產品微弱的排斥力使探針偏移，從而使得樣品表面形貌的圖像。

※非接觸式(Non-contact mode)：

  探針與材料表面總維持著一定的距離(低于20nm)。非接觸式為輕敲式的衍生，一樣是利用探針跳動來掃描，但是探針始終都不接觸表面。  

※輕敲式(Tapping mode又稱 AC mode)：

  介于接觸式和非接觸式之間，探針與材料表面間的距離為(5nm)。以探針震蕩方式，探針在試片上跳動，當探針震蕩至波谷時微接觸樣品。

        Park探針選用小貼士：

        AC160TS:Tapping Mode,用於較硬的sample,適用半導體材料,金屬材料,Polymer,DVD…

        AC240TS:Tapping Mode,用於較軟的sample,適用生命科學:DNA,細胞,薄膜,蛋白質…