高精度和高穩定性
☆ 探頭分辨率提高到納米級,有效分辨率22m(0.022um)有掃描軸最小步距 1um,掃描時測量頭移動樣品不動,減少氣流和震動影響高剛性低熱膨脹系數花崗石平臺和構件,熱源隔離設計古
運動系統采用磁懸浮,超精密導軌
控制系統采用光柵尺全閉環反饋控制☆
高取樣密度:測量時每截面可達5萬個取樣點,每毫米 1000點顏色無關和亮度無關的測量方法,抗干擾能力強,環境光影響低古高重復精度(ㄑ0.1um 于標準量塊上),人為誤差減少
22高速度,探頭采樣頻率靜態 2000Hz,動態900Hz
★兩點基板傾斜修正功能
☆數字傳輸:抗干擾,自動糾錯,準確度高
高靈活性和適應性
☆ 大樣品測量:測量臺面尺寸達540x500mm,更大可定制★厚板測量:高達80mm,Z軸可調 35mm,探頭可調45mm☆ 微小目標測量:可測量寬度 10um 的目標
★ LED 光源:壽命長
古快速更換被測物:直接擺放被測物,速度快
快速轉換程序:自動記錄最近程序,一鍵切換適合多生產線共享
古測量原理受環境、材料影響小,可測量各種類型的漿料測量自動適應基板顏色和反光度,自動修正基板傾斜
統計分析功能強大
☆Xbar-R 均值極差控制圖、分布概率直方圖平均值、標準差、CPK等常用統計參數按被測產品獨立統計,可追溯性品質管理,可記錄產品條碼或編號,由此追蹤到該編號產品當時的印刷、漿料、鋼網、刮刀等幾乎所有制程工藝參數。規格參數可自主設置
制程優化分類統計,可根據不同印刷參數比如刮刀壓力、速度、脫網速度、清潔頻率等,不同漿料,不同鋼網,不同刮刀進行條件分類統計,且條件可以多選。可方便地根據不同的統計結果尋找穩定的制程參數配置







