Sinton WCT-120:硅片壽命測試工具
簡介：
硅片測試儀器提供了對載流子復合壽命進行校準分析的現(xiàn)有技術。完全遵從SEMI標準 PV-13。WCT-120 是放置在桌面上的硅片壽命測量系統(tǒng)，適用于器件研究和工業(yè)過程控制，價格實惠。WCT-120MX適用于測試230 mm的大硅片。
WCT-120:硅片壽命測試工具產品概述
WCT-120和WCT-120MX 儀器展示了我們獨特的測量和分析技術，包括 sinton Instruments公司在 1994年開發(fā)的遵從 SEMI標準的準穩(wěn)態(tài)光電導(QSSPC)壽命測量方法。
WCT-120儀器使用QSSPC和瞬態(tài)光電導衰減技術，可以測量10ns到10 ms+范圍的硅片壽命。QSSPC 技術適用于監(jiān)測多晶硅片、摻雜擴散及低壽命樣品。瞬態(tài)光電導衰減技術適用于對高壽命樣品的工藝進行逐步監(jiān)控。
WCT-120壽命測試也會給出隱含開路電壓(隨光照強度變化的)曲線，相當于在電池工藝的每個階段都能給出一條I-V曲線。
WCT-120:硅片壽命測試工具主要應用：
對制造工藝進行逐步監(jiān)控和優(yōu)化。
其他應用:
l 監(jiān)測初始材料質量。
l 在硅片加工過程中檢測重金屬雜質污染。
l 評估表面鈍化和發(fā)射極摻雜擴散。
l 使用隱含I-V測試，估算加工過程引起的并聯(lián)電阻。
Sinton Instruments 的分析會給出每張硅片的校準的載流子注入水平，所以可以認為壽命數(shù)據(jù)在物理意義上是準確的。每次測試都會顯示和記錄用戶所關注的特定參數(shù)。
