- 類型：測試腔
- 測量范圍：高真空
- 測量精度：精準
- 測量時間：快速
- 測量溫度：-190°C-400°C
真空測試腔：主要用于氣體敏感材料或其他對環境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ100mm，臺面可升溫到400℃。該腔體設計有進氣口和抽真空接口和2-4芯信號真空電極，可選用6芯電極。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，由內部探針行將樣品電極引入腔體的信號線連接到外部測試儀器，外部信號線連接測試儀器來測試電子信號。
真空測試腔 技術參數；
真空腔體 | |||
類型 | 高溫型 室溫到400℃ | 高低溫型 室溫到400℃ 室溫到-196℃ | |
腔體材質 | 304不銹鋼 | ||
腔體內尺寸 | Φ88mmX59mm | ||
腔體外尺寸 | Φ112X65mm | ||
腔體重量 | 約2.6KG | ||
腔體上視窗尺寸 | Φ47mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） | ||
腔體抽氣口 | 可擴展KF16法蘭 KF25法蘭 | ||
腔體真空測量口 | KF16法蘭（其余接口規格可轉接） | ||
腔體進氣口 | 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 硅膠薄膜液體注射口 氣管接頭可選 | ||
腔體電接口 | 5KV高壓電極，10KV高壓電極，4芯8A氣密封信號接口，8芯4A氣密封信號接口， | ||
腔體正壓 | ≤0.1MPa | ||
腔體真空度 | 機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） | ||
制冷接口 | 無 | 3mm液氮管道 | |
樣品臺 | |||
樣品臺材質 | 不銹鋼 | ||
樣品臺尺寸 | 26x26mm | ||
樣品臺加熱方式 | 電阻加熱 | ||
樣品臺-視窗 距離 | 48mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） | ||
樣品臺測溫傳感器 | PT100型鉑電阻 | ||
樣品臺溫度 | 高溫型 室溫到400℃ | 高低溫型 室溫到400℃ 室溫到-196℃ | |
樣品臺測溫誤差 | ±0.5℃ | ||
樣品臺升溫速率 | 高溫50℃/min 值 | ||
溫控儀 | |||
溫度顯示 | 7寸人機界面 | ||
溫控類型 | 標準PID溫控 +自整定 30段編程控溫 | ||
溫度分辨率 | 0.1℃ | ||
溫控精度 | ±0.5℃ | ||
溫度信號輸入類型 | PT100鉑電阻（可選熱電阻 K S B型熱電偶） | ||
溫控輸出 | 直流線性電源加熱 | ||
輔助功能 | 溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數接口 | ||
溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | ||
