量程范圍: 0.5-1000 SLPM
控制范圍: 0.5% – 100% 滿量程
標準精度: ±0.75%讀數或 ±0.1% 滿量程 ,以較大者為準 可選高精度: ±0.6%讀數或+0.1% 滿量程 ,以較大者為準 重復性: ±(0.2% 讀數+ 0.02% 滿量程)
響應時間: 低至30毫秒 預熱時間:< 1s
MW系列操作條件
兼容氣體: 98個預載可選擇氣體校準
工作溫度: –10°C to +60°C
工作壓力: 60 PSIA 壓降(與范圍有關):
低至0.07pid 差壓:< 15 PSID
爆破壓力: 80 PSIA
STP參考條件(默認值): 25°C & 1 ATM (STP) and 0°C & 1 ATM (NTP)
